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双频加热的LECR3离子源设计及初步的调试
孙良亭,张子民,赵红卫,张雪珍,郭晓虹,曹云
2002(9)
摘要:研制成功了一台新的ECR(ElectronCyclotronResonance)离子源LECR3(LanzhouECRNo .3)。该离子源能为原子核物理与表面物理研究提供高电荷态离子束流 ,LECR3的设计主要基于IMP(InstituteofModernPhysics)的 14 .5GHzECR离子源 (LanzhouECRNo .2 ) ,但采用了双频加热、波导直接馈入微波功率及铝制等离子体弧腔等新技术和新方法。另外 ,LECR3的弧腔容积比LECR2的大 ,增加可注入的微波功率 ,可有效地增加引出的高电荷态离子束流的强度。虽然增大了弧腔的内径 ,但仍然保持径向六极磁铁在弧腔内壁上产生最大磁场强度与LECR2的同样大小。
关键词:ECR离子源;双频加热;高电荷态
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发布时间:2021-03-12
走向光学工业应用的辅助镀膜霍尔等离子体源
尤大伟,李安杰,江建国,武建军,黄小刚
2002(9)
摘要:论述了霍尔等离子体源的工作原理 ,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布。本设计采用永久磁铁并利用极靴产生发散磁场 ,及沿轴向有较大梯度的磁场 ,还给出了束流均匀区实测结果及工业应用初步结果
关键词:光学镀膜;离子束辅助镀膜;等离子体加速
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发布时间:2021-03-12
全方位离子注入及增强沉积工业机和应用
童洪辉,陈庆川,霍岩峰,王珂,穆莉兰,冯铁民,赵军,严兵,耿漫
2002(9)
摘要:报道了等离子体源离子注入 (PSII)或等离子体浸没离子注入 (PIII)及增强沉积工业机的实验结果及应用。该机真空室直径 90 0mm ,高 10 5 0mm ,立式放置 ,抽气系统由分子泵及机械泵构成并且实现了PLC控制 ,本底真空小于 4× 10 - 4Pa。等离子体由热阴极放电或三个高效磁过滤式金属等离子体源产生 ,因此可实现全方位离子注入或增强沉积成膜。该机的负高压脉冲最高幅值为 80kV ,最大脉冲电流为 6 0A ,重复频率为 5 0— 5 0 0Hz ,脉冲上升沿小于 2 μs,并且可根据需要产生脉冲串。其等离子体密度约为 10 8— 10 10 ·cm- 3,膜沉积速率为 0 .1— 0 .5nm/s。
关键词:全方位离子注入;增强沉积;金属等离子体源;材料表面改性
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发布时间:2021-03-12
用于材料表面强化处理的第三代多功能PⅢ装置
汤宝寅,王浪平,王小峰,甘孔银,王松雁,朱剑豪,黄楠,孙鸿
2002(9)
摘要:第三代多功能等离子体浸没离子注入 (PIII)装置的强流脉冲阴极弧金属等离子体源既具有强的镀膜功能 ,同时也具有强的金属离子注入功能 ;它的脉冲高压电源能输出大的电流 ;并可获得高的注入剂量均匀性。该装置既能执行离子注入 ,又能把离子注入与溅射沉积 ,镀膜结合在一起 ,形成多种综合性表面改性工艺。本文描述了它的主要设计原则、主要部件的特性以及近期的研究工作成果。
关键词:等离子体浸没离子注入;材料表面改性;强流脉冲阴极弧金属等离子体源;金属等离子体浸没离子注入与沉积
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发布时间:2021-03-12
磁过滤等离子体沉积和注入技术
张荟星,李强,吴先映
2002(9)
摘要:利用阴极真空弧放电技术能够产生高密度的金属等离子体。经过 90度的磁过滤器 ,可以除去金属等离子体中的大颗粒微粒 ,从而为制备高质量的、致密的各种薄膜提供了一种全新的技术。利用该技术制备薄膜具有非常广泛的应用。本文介绍了阴极真空弧放电技术的应用 ,以及磁过滤等离子体沉积和注入装置及其应用
关键词:磁过滤器;等离子体沉积;阴极真空弧技术
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发布时间:2021-03-12
团簇粒子源及其应用
赵子强
2002(9)
摘要:介绍了蒸发、溅射产生团簇的原理以及通过调节参数得到不同大小的团簇材料 ,阐述了团簇的基本结构和性质 ,并介绍了团簇在镀膜及功能膜如光学膜磁性膜方面的应用。
关键词:离化;嵌埋团簇膜
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发布时间:2021-03-12
阴极爆炸发射电子电离气体原初过程的动力学模拟
向伟,赵渭江,颜莎,戴晶怡,魏可惠
2002(9)
摘要:基于阴极爆炸发射电子和电子对气体的碰撞电离模型 ,用胞中粒子 (PIC)模拟方法对单间隙冷阴极气体放电过程中阴极爆炸发射产生的电子和电子碰撞电离产生质子的动力学特性进行了研究。分别给出了在 1.33× 10 - 2 Pa氢气压和 10kV间隙电压下 ,气体放电过程中电子和质子的空间和相空间分布、速度统计分布以及轴线上电荷密度分布 ,分析了阴极爆炸发射电子电离过程。模拟结果表明 ,间隙中电子的最大速度达 5 .8× 10 7m/s ,而只有少数的气体电离产生的质子最大速度达到 1.3× 10 6 m/s。
关键词:气体放电;爆炸发射;电离;胞中粒子模拟
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发布时间:2021-03-12
等离子体浸没离子注入圆筒内表面的时空尺度
田修波,D T K Kwok,童洪辉,Paul K Chu
2002(9)
摘要:等离子体浸没离子注入与工件外表面的注入不同 ,存在空间和时间上的尺度。研究结果表明 ,由于内腔 ,如内筒的有限尺寸 ,使注入电压的利用率降低 ,同时使内部等离子体快速耗尽 ,对于特定的内筒 ,利用提高注入电压从而提高注入能量只能在一定的电压范围内实现。在典型的外表面注入工艺条件下 ,内表面离子的耗尽速度是惊人的。如在对于直径 2 0cm的圆筒在 30kV、2× 10 15ions/cm3的条件下 ,等离子体耗尽时间仅为 0 .5 5 μs ,这个时间甚至小于多数脉冲电源的上升沿时间。结果表明 ,内部等离子体源的硬件结构可能是一种有效的解决方法。
关键词:内表面;等离子体浸没离子注入;尺度效应
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发布时间:2021-03-12
用于模拟X射线热-力学效应的高功率脉冲离子束研究进展
邱爱慈,张嘉生,彭建昌,杨海亮,何小平,石磊,汤俊萍,周南,丁升,牛胜利
2002(9)
摘要:计算了与黑体谱 1keVX射线在材料中产生的应力波和冲量相当的质子束参数 ;给出了箍缩型二极管产生离子束的实验结果 ,以及在“闪光二号”加速器上已经获得的流强约 5 0kA的脉冲质子束。
关键词:高功率脉冲离子束;箍缩型二极管;脉冲电子束;加速器;热-力学效应
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发布时间:2021-03-12
电子入射角对束流传输系数和能量沉积的影响
杨海亮,邱爱慈,张嘉生,黄建军,孙剑锋
2002(9)
摘要:利用数值方法研究了不同能量 (0 .4— 1.4MeV)的电子束以不同的入射角穿透不同厚度碳靶的束流传输系数和能量沉积。计算结果表明 ,随着电子束入射角的增大 ,束流的传输系数减小 ,而较小入射角 (接近垂直入射角 )的电子在靶材料中穿透深度更大 ;能量为 1.0— 1.4MeV的电子束当入射角在 6 0°— 70°时在碳靶单位体积中沉积的能量最大
关键词:电子束;电子入射角;电子输运;束流传输系数;能量沉积;碳靶
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发布时间:2021-03-12
放射性离子束的产生和加速
秦久昌,姜永良,游曲波,白希祥,柳卫平,陈泉,郭刚,何明,姜山,许谨诚
2002(9)
摘要:研制了一条次级放射性束流线 ,产生放射性核束11C ,17F ,7Be,13N ,6 He。利用所获的放射性核束7Be,成功地完成了7Be(d ,n) 8B反应的角分布测量。采取离线方法产生和加速了放射性核束6 4Cu ,在实验靶上获 1.2× 10 5ions·s- 1(80MeV) ,完成了6 4Cu库仑激发实验研究。
关键词:放射性核束;在线;离线
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发布时间:2021-03-12
CPNG脉冲化装置的研制
沈冠仁,关遐令,陈洪涛
2002(9)
摘要:本文介绍了为CIAE6 0 0kVns脉冲中子发生器研制的强流ns脉冲化装置和达到的技术指标。其平均流强≥ 30 μA ,束宽为 1.0ns。
关键词:强流;ns脉冲化装置
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发布时间:2021-03-12
MeV原子团簇离子束的产生、鉴定及其与固体的作用
沈毅雄,沈定予,卢希庭,江栋兴,王雪梅,聂锐
2002(9)
摘要:介绍了北京大学 2× 1.7MV串列静电加速器实验室开发能量为MeV/atom的原子团簇离子束的情况以及对这些团簇离子束的鉴定手段。应用这些团簇离子束 ,使团簇粒子离子能量损失中的邻近效应研究和团簇离子束在单晶硅中引起的辐照损伤研究等工作得到了开展
关键词:MeV原子团簇离子束;产生;鉴定;与固体物质的作用
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发布时间:2021-03-12
单粒子微束装置的研究
胡素华,吴瑜,陈斌,李军,张束清,吴李君,王绍虎,余增亮
2002(9)
摘要:介绍了一种用于生物学研究中细胞精确定位辐照的装置———单粒子微束装置的研究进展情况和发展目标。
关键词:单粒子微束;装置;静电加速器;诱变
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发布时间:2021-03-12
精密数控高真空电子束焊机的研制
李少林,宋宜梅
2002(9)
摘要:介绍了精密数控电子束焊机的结构、主要技术指标和特点 ,着重叙述了新型设备的设计原理、特点以及一些关键技术问题的解决方案。
关键词:电子束焊机;EMC设计;双层电磁屏蔽;双闭环控制
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发布时间:2021-03-12
法兰环缝局部真空电子束焊接技术研究
何成旦,成永军,应磊,许启晋
2002(9)
摘要:叙述了局部真空电子束焊接的特点及其在国防工业和民用工业的应用前景 ,叙述了国内外局部真空电子束焊接的发展状况 ,介绍了自行研制的法兰环缝局部真空电子束焊接装置和它的主要技术指标 ,以及该设备研制已突破的关键技术。
关键词:局部真空;电子束焊接;法兰环缝;动密封
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发布时间:2021-03-12
铝合金局部真空电子束焊接工艺研究
刘志华,雷学锋,赵兵,赵增辉,赵青
2002(9)
摘要:阐述了铝合金法兰环缝典型结构样件局部真空电子束焊接工艺试验的情况 ,分析了铝合金焊接气孔的产生原因及采取相应的工艺措施 ,研究出铝合金局部真空电子束焊接工艺
关键词:局部真空;电子束焊接;铝合金
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发布时间:2021-03-12
D2钢电子束表面改性抗微动磨损性能研究
吴爱民,刘捍卫,邹建新,周仲荣,董闯
2002(9)
摘要:利用强流脉冲电子束 (HCPEB)技术对D2钢进行了表面改性处理。结果表明 ,电子束轰击试样近表层组织结构发生了很大变化 ,且亚表层显微硬度明显增加。微动磨损结果显示 ,电子束处理可以改善D2钢抗微动磨损性能 ,预涂覆TiN和Cr层效果更明显。磨痕SEM分析表明 ,涂覆Cr层的样品微动磨损主要机制是粘着和氧化 ,而TiN涂层及电子束直接处理试样主要磨损机制则是表面疲劳微裂纹的扩展和断裂产生的剥落颗粒 ,在摩擦面造成磨粒磨损 ,同时也伴随轻微的粘着和氧化 ,其磨损机制相对比较复杂
关键词:强流脉冲电子束;模具钢;表面改性;微动磨损
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发布时间:2021-03-12
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