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现代光刻技术
陈大鹏,叶甜春
2004(2)
摘要:作为当前集成电路制造的主流技术,光学光刻在趋近其分辨力极限的同时,面临着越来越大的挑战,即便在波前工程和分辨力增强技术的帮助下,光学光刻的分辨力也难以满足快速发展的半导体产业的技术需求。接近式 X 射线光刻技术(XRL)、散射角限制电子束投影光刻技术(SCALPEL)、电子束直写光刻技术(EBDW)、极紫外线即软 X 射线投影光刻技术(EUVL)、离子投影光刻技术(IPL)等下一代光刻技术(NGL)将会在特征线宽为 100—70 nm 的技术节点介入集成电路制造的主流技术中。从目前 NGL 技术发展的趋势和市场需求的多元化来看,竞争的结果很可能是各种 NGL 技术并存。当特征尺寸进入纳米尺度(≤100 nm)以后,最终只有那些原子级的成像技术才能成为胜者。
关键词:光刻;分辨力;X射线光刻技术;电子束直写;极紫外线投影光刻;离子束投影光刻
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发布时间:2021-03-12
掠入射荧光XAFS研究Pt超薄膜的局域结构
谢治,谢亚宁,刘涛,胡天斗,闫文盛,韦世强
2004(2)
摘要:利用荧光 X 射线吸收精细结构(XAFS)技术研究了厚度为 3—105 nm 范围的分子束外延生长的 Pt 金属薄膜的局域结构。结果表明,30 nm 和 105 nm Pt 薄膜的 XAFS 结果与多晶 Pt 箔的相似,在径向结构函数图中的 2.61、3.80、4.63、5.43 ? 处出现第一、二、三和四配位壳层的配位峰,保持着 Pt 金属的面心立方结构特征。30 nm Pt 薄膜样品的结构参数:配位数 N=11.9,键长 R=2.77 ?,无序度σ2=0.0055 ?2。3 nm 和 10 nmPt 超薄膜的径向结构函数曲线中的第一配位峰形状与 105 nm Pt 厚膜的相似,但强度明显降低,其结构参数分别为: N=10.1, R= 2.78 ?, σ2=0.0077 ?2;N=11.3, R= 2.77 ?, σ2=0.0061 ?2;同时其高壳层的配位峰近于消失,说明 3 nm 和 10 nm Pt 超薄膜的中程有序结构遭到较大影响,无序度明显增加。在 350—800oC 温度范围内生长的 105 nm Pt 薄膜,其局域结构近似于 Pt 金属晶体。
关键词:荧光X射线吸收精细结构;Pt超薄膜;掠入射
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发布时间:2021-03-12
对数比电路在加速器束团位置监测中的应用及测量
马庆力,詹志锋,吴孝义,王筠华,阴泽杰
2004(2)
摘要:详细介绍了在合肥同步辐射实验室(NSRL)二期工程中的束团位置监测(BPM)电子学系统中对数比电路的设计与应用。结合对数放大器自身的特性,介绍了此电路在 BPM 系统中的组成、工作原理、测量内容、方法和结果。
关键词:对数放大器;对数比电路;AD8307
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发布时间:2021-03-12
50 nm X射线光刻掩模制备关键技术
董立军,陈大鹏,谢常青,韩敬东,叶甜春,伊福廷,彭良强,韩勇,张菊芳
2004(2)
摘要:X 射线光刻(XRL)采用约 1nm 波长的 X 射线,是一种接近式光刻。就光刻工艺性能而言,XRL 能同时实现高分辨率、大焦深、大像场等,是其他光刻手段难以比拟的。由于不需要辅助工艺,因而工艺成本很低。掩模制造技术是 XRL 开发中最为困难的部分。本文介绍了适用于 50 nm XRL 的掩模制备的关键技术。
关键词:X射线光刻;掩模;金刚石;吸收体;键合
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发布时间:2021-03-12
功率测量芯片在合肥光源电网电压监控系统中的应用研究
高辉,王卫兵,陈文通,王金祥,李为民
2004(2)
摘要:介绍了 Analog Devices Inc.(ADI)公司新推出的电压、功率测量芯片 AD7756 的特点,以及利用该芯片设计的合肥光源的电网电压监视系统。该系统采用 RS485 总线接口,可同时监视 64 个节点。每个节点模块包含两个模数转换器、电压参考基准、温度传感器和相关的数字信号处理器。每个节点可现场设定电压波动报警阈值,也可实时电压波形采样,采样率达 14 kSa/s。电压监视在提供 RS485 总线接口的同时,也提供通用串行接口 RS232。相比其它设计方案,基于 AD7756 电网电压监视系统的设计具有成本低、精度高、实时性好、功耗小、可靠性高等特点。
关键词:AD7756;单片机;RS232;电压监视
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发布时间:2021-03-12
热中子注量率测量方法研究
陈朝阳,巴维真,何承发
2004(2)
摘要:研究了金箔激活法和热释光法测量热中子注量率的方法,并对中国原子能研究院 101 重水反应堆某热中子通道热中子注量率的大小进行了测量,结果表明两种方法测量结果一致性很好,偏差仅为 8.8%。
关键词:热中子;注量率;金箔激活法;热释光
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发布时间:2021-03-12
中子俘获瞬发γ射线数据评价系统
周春梅
2004(2)
摘要:简要地介绍了中子俘获瞬发γ射线及其衰变纲图的评价方法技术、主要程序及其功能、工作流程、数据自洽检验和具体应用等。
关键词:中子;(n,γ)反应;评价程序;数据评价
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发布时间:2021-03-12
离子注入过程中拟南芥愈伤组织冻害的防护研究
谷运红,余增亮,秦广雍,霍裕平
2004(2)
摘要:以拟南芥愈伤组织为对象,探讨了 DMSO(二甲亚砜)处理和玻璃化处理两种方法对愈伤组织在注入过程中冻害的防护。结果表明,玻璃化处理较 DMSO 处理能更有效地对冻害进行防护,N+注入量增至200×2.6×1013cm? 时,仍有 60%左右的愈伤组织可以正常分化。此工作对于以活体材料为注入对象的研究有一定的实际意义。
关键词:离子注入;拟南芥愈伤组织;冻害;玻璃化;DMSO
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发布时间:2021-03-12
大体积海水镭同位素现场快速富集与γ谱直接测定
刘广山,杨伟锋,贾成霞,黄奕普
2004(2)
摘要:水泵抽取的海水通过锰纤维富集柱,富集体积达 400 L 以上。用 HPGe γ谱仪直接测定样品中的镭同位素 224Ra、226Ra 和228 Ra。研究了胶州湾水体镭同位素的分布。
关键词:镭同位素;海水;现场快速富集;γ谱分析
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发布时间:2021-03-12
通过γ辐射强度的变化规律定位核元件技术研究
储诚胜,刘晓亚,黄瑞良,章剑华,熊宗华,向永春
2004(2)
摘要:利用标准面源来模拟核材料库的γ辐射场,从实验和理论两方面研究了移走某一放射源后四个不同监测位置γ辐射强度的变化规律。结果表明,移走监控对象中某一放射源后,不同检测位置γ辐射强度的变化规律是唯一的,并与理论计算符合得很好。据此完全可以确定核材料的变化情况。
关键词:γ辐射;标准面放射源;便携式γ谱仪
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发布时间:2021-03-12
新疆天山南麓库尔楚西北冲洪积扇面的
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Be年代
杨晓平,邓起东,P.Molnar,E.T.Brown,李军,B.C.Burchfiel,冯先岳
2004(2)
摘要:用 Be 方法测定了新疆天山南缘库尔楚西北 3 个冲洪积扇的形成年龄,结合野外 1∶50000 地质填图对 10这 3 个冲洪积扇相对时代的估计,得到了这 3 个冲洪积扇面的形成时代分别为距今(17±3)×103、(27±3)×103、(25±3)×103 10Be 年,为研究错断这 3 个冲洪积扇面的北轮台断裂晚第四纪以来的活动提供了年代学依据。
关键词:天山;冲洪积扇;10Be测年
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发布时间:2021-03-12
快中子金属锂靶的制备方法
尹建华
2004(2)
摘要:介绍了供多中子转移反应实验用的金属 Li 靶膜的制备方法及条件;金属 Li 表面石蜡油的清洗及清洗剂的选择;简述了 Li 靶的保存方法。
关键词:锂靶膜;手套箱;清洗剂
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发布时间:2021-03-12
MAG
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在放射性金属标记应用中的最新研究进展
张秀利,汪勇先,尹端沚,李俊玲,曹金全
2004(2)
摘要:综述了利用巯乙酰基三甘氨酸(MAG3)标记的多肽的生物学特性。经 MAG3形成的 Tcm标记物的标 99记率和比放射性高,体内稳定性好,与血清蛋白的非特异性结合低;经 MAG3 形成的186/188Re 标记物也具有良好的体内外稳定性。
关键词:巯乙酰基三甘氨酸;生物分子;186/188Re;99Tcm
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发布时间:2021-03-12
89
Sr、
153
Sm内照射治疗骨转移癌引起骨痛的剂量研究
张军宁,洪承皎,朱寿彭
2004(2)
摘要:对 Sr 或 Sm?EDTMP 治疗的 72 例(74 例次)骨转移癌病人的疗效、内照射靶器官的吸收剂量以及 89 153剂量响应关系进行了分析评价。结果表明,经 Sr 治疗的 31 例(33 例次)骨转移癌病人,治疗后骨痛反应属 89Ⅰ级者 15 例次,Ⅱ级者 14 例次,共 29 例次,占 87.88%;Ⅲ级者 4 例次,占 12.12%。未发现治疗后骨痛反应分级与 Sr 用量有明显关系;经 Sm?EDTMP 治疗的 41 例骨转移癌病人,治疗后骨痛反应属Ⅰ级者 19 89 153例,Ⅱ级者 18 例,共 37 例,占 90.24%;Ⅲ级者 4 例,占 9.76%。未发现治疗后骨痛反应分级与 Sm?EDTMP 153用量有明显关系。结果提示,亲骨性放射性药物 89Sr、153Sm?EDTMP 姑息治疗骨转移癌的骨痛效果显著。
关键词:89Sr;153Sm-EDTMP;内照射;骨转移癌;姑息治疗
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发布时间:2021-03-12
茶多酚和银杏叶有效成分的抗辐射作用研究
王清吉,王友绍,何磊,宋钦华
2004(2)
摘要:将72只昆明种雄性小白鼠随机均分为 6 组,以 150 mg/kg 体重的药物量连续灌服 20d 后,用 Co γ射 60线全身照射,吸收剂量为 9 Gy,继续灌服药物 13d。与对照组相比,茶多酚组、银杏黄酮组、银杏内酯组、茶多酚+银杏内酯组和茶多酚+银杏黄酮组的存活率分别提高 66.6%、41.6%、75%、66.6%、75%。平均存活天数分别提高 2.9(P<0.01)、1.8(P<0.05)、3.2(P<0.01)、3.1(P<0.01)、3.1(P<0.01)。实验结果表明:茶多酚和银杏叶有效成分具有抗辐射作用,茶多酚的多酚性羟基和银杏内酯的多羟基以及内酯键并存可能是辐射保护作用的结构基础,不同物质所含结构相同或具有类似官能团是具有复合协同增效作用的前提。
关键词:茶多酚;银杏叶提取物;抗辐射
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发布时间:2021-03-12
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F-FDG SPECT探测心肌的活力
许长德,陈绍亮
2004(2)
摘要:探讨了 F-FDG 单光子发射型计算机断层(SPECT)探测心肌活力的原理及显像技术的进展等,并将 18其与其它显像技术进行了比较。结果表明,18F-FDG SPECT 可以作为18 F-FDG 正电子发射断层(PET)的替代方法并比其它一些显像方法优越。
关键词:18F脱氧葡萄糖;单光子发射型计算机断层;心肌活力
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发布时间:2021-03-12
三维放射治疗计划的坐标系统
杨代伦,吴章文,罗正明
2004(2)
摘要:介绍了三维放射治疗计划的坐标系统。阐述了以等中心坐标系、人体坐标系、射束坐标系为基础的坐标体系,推导了它们之间的坐标变换解析式,说明了坐标系的应用和相关处理方法。该系统组织严紧、结构优,对提高 3D-TPS 的整体性能具有重要意义,有很好的实用性和通用性。
关键词:放射治疗计划;坐标系统;坐标变换
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发布时间:2021-03-12
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