摘要:中子深度剖面分析(Neutron depth profiling,NDP)技术在半导体生产、离子注入研究、材料科学等领域有广泛应用。为了探究NDP能谱分析中模拟软件的一致性与可靠性,本文对比了SRIM、MCNP、FLUKA和GEANT4等软件模拟NDP的结果;对比分析了4款模拟软件模拟的α粒子能谱,并以美国国家标准与技术研究院(National Institute of Standards and Technology,NIST)标准物质SRM2137实测谱为标准对模拟谱进行评价。结果表明:4款模拟软件所模拟的α能谱在2μm厚晶体硅层内峰位能量一致性较好;MCNP模拟的半高宽和峰位结果优于FLUKA和GEANT4的模拟结果。
摘要:中国聚变工程实验堆(China Fusion Engineering Test Reactor,CFETR)负离子源中性束系统验证样机正在积极设计筹建中,样机建成后在运行过程中会产生辐射。在设计阶段,仔细分析辐射源的类型、强度和空间分布,为辐射屏蔽设计提供输入数据,从而确保工作人员的辐射安全非常重要。本文通过对样机进行物理和几何建模,然后利用MCNP(Monte Carlo N Particle Transport Code)程序模拟计算200 keV充氢运行的负离子源中性束系统验证样机各关键点的辐射剂量。研究结果为CFETR中性束系统验证样机辐射屏蔽设计提供参考。