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纳米精度位移机构柔性铰链结构设计分析
同步辐射技术及应用 | 更新时间：2024-10-25
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    • 纳米精度位移机构柔性铰链结构设计分析

    • Design and analysis of flexure hinge displacement mechanism with nano precision

    • “在同步辐射硬X射线纳米聚焦领域，专家设计了一种基于直圆型一维线性运动的平行连杆柔性铰链机构，实现了0.2毫米运动行程，位置稳定性达到±1.1纳米，为自主研发调节机构提供解决方案。”
    • 核技术   2022年45卷第7期 文章编号：070101

    • DOI：10.11889/j.0253-3219.2022.hjs.45.070101    

      中图分类号： TL99

    • 收稿日期：2021-12-26，

      修回日期：2022-04-29，

      纸质出版日期：2022-07-15

    移动端阅览

  • 曾超,毛成文,何燕等.纳米精度位移机构柔性铰链结构设计分析[J].核技术,2022,45(07):070101-070101. DOI： 10.11889/j.0253-3219.2022.hjs.45.070101.

    ZENG Chao,MAO Chengwen,HE Yan,et al.Design and analysis of flexure hinge displacement mechanism with nano precision[J].NUCLEAR TECHNIQUES,2022,45(07):070101-070101. DOI： 10.11889/j.0253-3219.2022.hjs.45.070101.

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相关作者

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相关机构

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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室
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