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高精度气浮支承转动平台结构设计及精度测试
核电子学与仪器 | 更新时间:2021-03-03
    • 高精度气浮支承转动平台结构设计及精度测试

    • Structure design and accuracy test of high precision rotation stage with air bearing support

    • 核技术   2015年38卷第3期 文章编号:030403
    • DOI:10.11889/j.0253-3219.2015.hjs.38.030403    

      中图分类号:
    • 纸质出版日期:2015-03-09

    移动端阅览

  • 肖松文, 孙 远, 韩庆夫, 等. 高精度气浮支承转动平台结构设计及精度测试[J]. 核技术, 2015,38(3):030403 DOI: 10.11889/j.0253-3219.2015.hjs.38.030403.

    XIAO Songwen, SUN Yuan, HAN Qingfu, et al. Structure design and accuracy test of high precision rotation stage with air bearing support[J]. Nuclear techniques, 2015, 38(3): 030403 DOI: 10.11889/j.0253-3219.2015.hjs.38.030403.

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