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离子束混合形成氮化钛膜的摩擦和光学性能
更新时间:2021-04-09
    • 离子束混合形成氮化钛膜的摩擦和光学性能

    • The wear resistance and optical properties of TiN thin films prepared by ion beam mixing

    • 核技术   1994年第2期
    • 中图分类号: TB43
    • 纸质出版日期:1994-02-01

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  • [1]阎鹏勋,杨思泽.离子束混合形成氮化钛膜的摩擦和光学性能[J].核技术,1994(02):74-77. DOI:

    Yan Pengxun. The wear resistance and optical properties of TiN thin films prepared by ion beam mixing[J]. Nuclear techniques, 1994, (2). DOI:

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