离子束辅助沉积制备Al/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>双层膜及其性质

薛建明; 赵渭江; ＷｏｌｆＧＫ

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离子束辅助沉积制备Al/Al₂O₃双层膜及其性质

更新时间：2021-04-09

- 离子束辅助沉积制备Al/Al₂O₃双层膜及其性质
- Properties of the Al/Al2O3 bilayer coatings deposited by IBAD
- 核技术 1998年第1期
- 作者机构：
  
  1. 北京大学重离子物理研究所
  2. 德国海德堡大学物理化学研究所
  3. 北京大学重离子物理研究所德国海德堡大学物理化学研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(11605241;11875290;11975276)
- DOI：
  中图分类号： TL629.1
- 纸质出版日期：1998-01-01
- 稿件说明：
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[1]薛建明,赵渭江,ＷｏｌｆＧＫ.离子束辅助沉积制备Al/Al_2O_3双层膜及其性质[J].核技术,1998(01):16-20.

XUE Jianming ZHAO Weijing. Properties of the Al/Al2O3 bilayer coatings deposited by IBAD[J]. Nuclear techniques, 1998, (1).
[1]薛建明,赵渭江,ＷｏｌｆＧＫ.离子束辅助沉积制备Al/Al_2O_3双层膜及其性质[J].核技术,1998(01):16-20. DOI：

XUE Jianming ZHAO Weijing. Properties of the Al/Al2O3 bilayer coatings deposited by IBAD[J]. Nuclear techniques, 1998, (1). DOI：

摘要

利用离子束辅助沉积的方法在ＣＫ４５号钢和ＡｌＴｉ合金的基体上制备了具有不同厚度Ａｌ层或Ａｌ

２

Ｏ

３

层的Ａｌ／Ａｌ

２

Ｏ

３

双层膜系统。Ａｌ与Ａｌ

２

Ｏ

３

层之间是厚度为１００ｎｍ的梯度界面层。利用电化学方法测量了样品在近中性水溶液中耐腐蚀性能。实验中还测量了样品的表面硬度和耐摩擦性能，研究了双层膜系统中Ａｌ或Ａｌ

２

Ｏ

３

层厚度变化对样品物理性质和化学性质的影响。

Abstract

The Al/Al2O3 bilayer coatings have been deposited on DK45 steel and ALTi alloyby using the ion beam assisted deposition （IBAD） method. Sample’s corrosionresistance was evaluated by electrochemical method

and their surface hardness andsample’s properties was studied. Tt was shown that the deposition of AL/Al2O3 bilayercan greatly improve sample’s corrosion resistance

surface gardness and tribologicalproperties.

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离子束辅助沉积制备Al/Al2O3双层膜及其性质

Properties of the Al/Al2O3 bilayer coatings deposited by IBAD

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离子束辅助沉积制备Al/Al₂O₃双层膜及其性质