利用磁控溅射与液氮冷凝相结合产生金属及其化合物团簇

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更新时间：2021-04-09

- 利用磁控溅射与液氮冷凝相结合产生金属及其化合物团簇
- Engendering metal and its composite clusters by combining magnetic control sputtering and liquid nitrogen condensing
- 核技术 1997年第2期
- 作者机构：
  
  北京大学重离子物理研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家教委优秀教师基金,自然科学基金()
- DOI：
  中图分类号： TL343
- 纸质出版日期：1997-02-01
- 稿件说明：
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[1]韦伦存,赵子强,韩建伟,钟运成,于金祥,王浩.利用磁控溅射与液氮冷凝相结合产生金属及其化合物团簇[J].核技术,1997(02):20-23.

Wei Luncun Zhao Ziqiang Han Jianwei Zhong Yuncheng Yu Jinxiang Wang Hao. Engendering metal and its composite clusters by combining magnetic control sputtering and liquid nitrogen condensing[J]. Nuclear techniques, 1997, (2).
[1]韦伦存,赵子强,韩建伟,钟运成,于金祥,王浩.利用磁控溅射与液氮冷凝相结合产生金属及其化合物团簇[J].核技术,1997(02):20-23. DOI：

Wei Luncun Zhao Ziqiang Han Jianwei Zhong Yuncheng Yu Jinxiang Wang Hao. Engendering metal and its composite clusters by combining magnetic control sputtering and liquid nitrogen condensing[J]. Nuclear techniques, 1997, (2). DOI：

利用磁控溅射与液氮冷凝相结合的团簇产生设备成功地制备了多种金属及金属化合物（如Ｃｕ，Ｍｏ，Ｔａ，ＡｌＮ，ＴｉＮ，ＴａＮ）等团簇。团簇尺寸大小为２－３０ｎｍ，其微结构为晶体结构。

By using liquid nitrogen cooling of sputtered atoms in flowing gas

a cluster machine has been set up. With this machine

many kinds of metal and metal nitride clusters

such as Cu

AlN

TiN and TaN

have been successfully generated. The size of the clusters is between 2nm and 30nm. The cluster’s microstructure belongs to crystal structure.

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