采用弹性反冲分析法同时测量薄膜中氢和氘的深度分布

王运来; 宋世战

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采用弹性反冲分析法同时测量薄膜中氢和氘的深度分布

更新时间：2021-04-09

- 采用弹性反冲分析法同时测量薄膜中氢和氘的深度分布
- Depth profiling of hydrogen and deuterium in films by ERDA
- 核技术 1997年第10期
- 作者机构：
  
  1. 兰州军区总医院
  2. 兰州大学原子核研究所
  3. 兰州军区总医院兰州大学原子核研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TL641
- 纸质出版日期：1997-10-01
- 稿件说明：
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[1]王运来,宋世战.采用弹性反冲分析法同时测量薄膜中氢和氘的深度分布[J].核技术,1997(10):36-39.

Wang Yunlai. Depth profiling of hydrogen and deuterium in films by ERDA[J]. Nuclear techniques, 1997, (10).
[1]王运来,宋世战.采用弹性反冲分析法同时测量薄膜中氢和氘的深度分布[J].核技术,1997(10):36-39. DOI：

Wang Yunlai. Depth profiling of hydrogen and deuterium in films by ERDA[J]. Nuclear techniques, 1997, (10). DOI：

摘要

给出由重叠反冲能谱计算氢和氘的浓度及深度分布的解谱技术。用４．５ＭｅＶ和４．２ＭｅＶ的α粒子作入射粒子得到两个反冲能谱，在考虑和不考虑能量展宽效应的情况下分析了钛膜中氢和氘的深度分布；发现考虑能量展宽效应的影响得到的氢和氘的深度分布是令人满意的。

Abstract

? By means of a new spectrum-stripping method

depth profiling of hydrogen and deuterium absorbed in titanium film has been performed using two recoil spectra obtained at different incident 4He++ energies （42MeV and 45MeV） with and without considering the energy spread effect Satisfactory depth profiles of hydrogen and deuterium have been achieved when the energy spread effect is considered

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