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离子法向轰击单元素靶溅射产额的解析估算
更新时间：2021-04-09

    • 离子法向轰击单元素靶溅射产额的解析估算

    • Analytical evaluation for the sputtering yield of monoatomic solids at normal ion incidence

    • 核技术   1994年第6期
    • 中图分类号： TL503.4

    • 纸质出版日期：1994-06-01

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  • [1]邵其鋆,潘正瑛.离子法向轰击单元素靶溅射产额的解析估算[J].核技术,1994(06):335-339. DOI：

    Analytical evaluation for the sputtering yield of monoatomic solids at normal ion incidence[J]. Nuclear techniques, 1994, (6). DOI：

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