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25keV AS+大倾斜角注入的损伤分析
更新时间:2021-04-09
    • 25keV AS+大倾斜角注入的损伤分析

    • The damage analysis of 25keV As ̄+ implantation into silicon with large tilt angles

    • 核技术   1994年第7期
    • 中图分类号: TD853.21
    • 纸质出版日期:1994-07-01

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  • [1]何治平,周祖尧,关安民,朱文玉,江炳尧,施左宇,林成鲁,钱佑华,陈良尧,苏毅.25keV AS~+大倾斜角注入的损伤分析[J].核技术,1994(07):391-395. DOI:

    The damage analysis of 25keV As ̄+ implantation into silicon with large tilt angles[J]. Nuclear techniques, 1994, (7). DOI:

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