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860A型高强度溅射离子源的改进
更新时间:2021-04-09
    • 860A型高强度溅射离子源的改进

    • Improvements of Model 860A high intensity sputter source

    • 核技术   1993年第3期
    • 纸质出版日期:1993-03-01

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  • [1]缴桂跃.860A型高强度溅射离子源的改进[J].核技术,1993(03):152-155. DOI:

    Jiao Guiyue. Improvements of Model 860A high intensity sputter source[J]. Nuclear techniques, 1993, (3): 152-155. DOI:

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