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离子束合成法形成的Si/CoSi2/Si/SiO2/Si（100）结构
更新时间：2021-04-09
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    • 离子束合成法形成的Si/CoSi2/Si/SiO2/Si（100）结构

    • Si/CoSi2/Si/SiO2/Si（100） structure formed by ion beam synthesis

    • 核技术   1993年第6期

    • 纸质出版日期：1993-06-01

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  • [1]吴名枋,赖初喜,姚淑德,王雪梅.离子束合成法形成的Si/CoSi_2/Si/SiO_2/Si(100)结构[J].核技术,1993(06):340-343. DOI：

    Wu Mingfang Lai Chuxi Yao Shude Wang Xuemei. Si/CoSi2/Si/SiO2/Si（100） structure formed by ion beam synthesis[J]. Nuclear techniques, 1993, (6): 340-343. DOI：

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