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氢氦离子注入机的研制
更新时间:2021-03-05
    • 氢氦离子注入机的研制

    • A 200 keV H2+/He+ ion implanter

    • 核技术   2010年33卷第12期
    • 中图分类号: TL503.3
    • 纸质出版日期:2010-12-01

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  • [1]陈立华,崔保群,马瑞刚,郑永男,姜冲,马鹰俊,黄青华,蒋渭生.氢氦离子注入机的研制[J].核技术,2010,33(12):937-940. DOI:

    CHEN Lihua CUI Baoqun MA Ruigang ZHENG Yongnan JIANG Chong MA Yingjun HUANG Qinghua JIANG Weisheng. A 200 keV H2+/He+ ion implanter[J]. Nuclear techniques, 2010, 33(12): 937-940. DOI:

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相关作者

北京市机电研究院加速器室
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张黎
谢亚红
蒋才超
梁立振
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郑乐

相关机构

中国科学院等离子体物理研究所
中国科学技术大学
中国工程物理研究院 流体物理研究所
Quantum-Functional Semiconductor Research Center Dongguk University
Texas Center for Superconductivity University of Houston
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