高能聚焦质子束无掩模刻写方法研究初步

刘江峰; 包良满; 李晓林

doi:null

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高能聚焦质子束无掩模刻写方法研究初步

低能加速器技术、射线技术及应用 | 更新时间：2021-03-12

- 高能聚焦质子束无掩模刻写方法研究初步
- Proton beam writing of microstructures on Shanghai SPM system
- 核技术 2009年32卷第6期
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院上海应用物理研究所
  2. 信阳师范学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  (No.ZX069)
- DOI：
  中图分类号： TN305.7
- 纸质出版日期：2009-06-01
- 稿件说明：
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[1]刘江峰,包良满,李晓林.高能聚焦质子束无掩模刻写方法研究初步[J].核技术,2009,32(06):443-447.

LIU Jiangfeng1, 2 BAO Liangman1 LI Xiaolin1 1. Proton beam writing of microstructures on Shanghai SPM system[J]. Nuclear techniques, 2009, 32(6): 443-447.
[1]刘江峰,包良满,李晓林.高能聚焦质子束无掩模刻写方法研究初步[J].核技术,2009,32(06):443-447. DOI：

LIU Jiangfeng1, 2 BAO Liangman1 LI Xiaolin1 1. Proton beam writing of microstructures on Shanghai SPM system[J]. Nuclear techniques, 2009, 32(6): 443-447. DOI：

摘要

在中国科学院上海应用物理研究所的扫描质子微探针装置上

研制了图形化扫描器

同时研究了适合质子束刻写的光刻胶制备、显影、定影技术。在此基础上

开展高能聚焦质子束无掩模刻写实验

在厚度约11μm的PMMA光刻胶上刻写出高纵横比的任意图案

取得了初步质子刻写结果

为进一步开展质子纳米束刻写奠定基础。

Abstract

Proton beam writing(PBW) is a direct writing technique allowing the creation of three-dimensional structures with a high aspect ratio in the micrometer and nanometer range in photoresist materials without the use of a templates.On the scanning proton microprobe(SPM) at Shanghai Institute of Applied Physics

this technique was established recently.In this paper

progresses in this area of research are presented.PBW was successfully performed with the positive resist polymethyl methacrylate(PMMA).With the new scanning system being commissioned

a new scan program was developed and tested which is dedicated to the creation of arbitrarily shaped structures.

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