磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H（N）复合薄膜

周奎; 张旭; 吴先映; 吴正龙; 邓春凤

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磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H（N）复合薄膜

低能加速器技术、射线技术及应用 | 更新时间：2021-03-12

- 磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H（N）复合薄膜
- Nanocomposite nc-ZrCN/a-C:H(N) film synthesized by filtered cathodic vacuum arc technique
- 核技术 2009年32卷第3期
- 作者机构：
  
  1. 北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室
  2. 北京师范大学低能核物理研究所
  3. 北京师范大学分析测试中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： O484.1
- 纸质出版日期：2009-03-01
- 稿件说明：
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[1]周奎,张旭,吴先映,吴正龙,邓春凤.磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合薄膜[J].核技术,2009,32(03):199-201.

ZHOU Kui1 ZHANG Xu1 WU Xianying1 WU Zhenglong2 DENG chunfeng1 1. Nanocomposite nc-ZrCN/a-C:H(N) film synthesized by filtered cathodic vacuum arc technique[J]. Nuclear techniques, 2009, 32(3): 199-201.
[1]周奎,张旭,吴先映,吴正龙,邓春凤.磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合薄膜[J].核技术,2009,32(03):199-201. DOI：

ZHOU Kui1 ZHANG Xu1 WU Xianying1 WU Zhenglong2 DENG chunfeng1 1. Nanocomposite nc-ZrCN/a-C:H(N) film synthesized by filtered cathodic vacuum arc technique[J]. Nuclear techniques, 2009, 32(3): 199-201. DOI：

摘要

采用磁过滤阴极弧法

以金属Zr为阴极在真空室中通入C2H2和N2混合气体来制备纳米nc-ZrCN/a-C:H（N）复合薄膜

用X射线衍射（XRD）、扫描电镜的能谱仪（SEM-EDS）、X射线电子能谱（XPS）和纳米力学探针研究了薄膜的成分、结构及其性能。实验结果表明薄膜是由ZrCN和无定形碳两种纳米结构组成;气体流速对复合膜的的成分和结构有显著影响:随着混合气体流速的增加

薄膜的锆原子百分比减小

而N和C的含量逐渐增大

薄膜的硬度逐渐减小

ZrCN峰强度逐渐降低。

Abstract

Nanocomposite nc-ZrCN/a-C:H(N) films were prepared on silicon substrates by filtered cathodic vacuum arc technique using the C2H2 and N2 gas as the precursor. The microstructure

composition and properties of the films were investigated by X-ray diffraction (XRD)

energy dispersive X-ray analysis (EDXA)

X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)

high resolution scanning electron microscopy and nanoindenter. The results show that the film is composed of ZrCN and amorphous carbon. The Zr content of the films decreases with increasing flow rate of the C2H2/N2 gas mixture

and hardness of a film decreases with increased C and N contents in the film.

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