基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计

朱伟忠; 吴衍青; 史沛熊; 郭智; 邰仁忠; 徐洪杰

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基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计

新一代同步福射技术及应用 | 更新时间：2021-03-12

- 基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计
- An optimized design of the XIL beam splitter grating combining advanced silicon etching with silicon oxidation technology
- 核技术 2008年第6期
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院上海应用物理研究所
  2. 丹麦科技大学
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： O436.1
- 纸质出版日期：2008-06-01
- 稿件说明：
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[1]朱伟忠,吴衍青,史沛熊,郭智,邰仁忠,徐洪杰.基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计[J].核技术,2008(06):415-419.

ZHU Weizhong1 WU Yanqing1 SHI Peixiong2 GUO Zhi1 TAI Renzhong1 XU Hongjie1 1. An optimized design of the XIL beam splitter grating combining advanced silicon etching with silicon oxidation technology[J]. Nuclear techniques, 2008, (6): 415-419.
[1]朱伟忠,吴衍青,史沛熊,郭智,邰仁忠,徐洪杰.基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计[J].核技术,2008(06):415-419. DOI：

ZHU Weizhong1 WU Yanqing1 SHI Peixiong2 GUO Zhi1 TAI Renzhong1 XU Hongjie1 1. An optimized design of the XIL beam splitter grating combining advanced silicon etching with silicon oxidation technology[J]. Nuclear techniques, 2008, (6): 415-419. DOI：

摘要

基于严格的矢量耦合波方法

对13.4nm（92.5eV）软X射线正入射于周期140nm的Si光栅和SiO2光栅的一级衍射效率进行了模拟计算

结果表明SiO2光栅的最大一级衍射效率远比Si光栅高

同时也比目前用于13.4nm软X射线干涉光刻的Cr/Si3N4复合光栅高。本文提出用高级硅刻蚀工艺和硅氧化工艺制作深高宽比纳米级SiO2光栅的新方法

可以解决直接刻蚀制作此光栅难度大的问题

适用于制作上海光源（SSRF）软X射线干涉光刻分束光栅。

Abstract

In this paper

diffraction efficiency of SiO2 gratings was calculated based on the rigorous coupled-wave analysis

with normal incidence of a 13.4 nm(92.5 eV) EUV light on a grating of 140 nm period.It was found that the maximal first order diffraction efficiency of the SiO2 grating was much higher than the Si grating

and higher than the Cr/Si3N4 compound gratings currently used at PSI.A new method

which combines advanced silicon etching with silicon oxidation technology

was employed to make the SiO2 nano-grating with high aspect ratio.This method

for making the beam splitter grating especially

solves the problem of direct SiO2 etching and will be used for the soft X-ray interference lithography endstation at SSRF.

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