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离子束辅助沉积TiCN多层膜的研究
更新时间：2021-03-12
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    • 离子束辅助沉积TiCN多层膜的研究

    • Property of multilayer TiCN films formed by ion-beam-assisted-deposition

    • 核技术   2007年第12期
    • 中图分类号： TG174.4

    • 纸质出版日期：2007-12-01

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  • [1]金杰,徐志潜,王锦辉,明建川,过骐千,李刘合.离子束辅助沉积TiCN多层膜的研究[J].核技术,2007(12):1019-1022. DOI：

    JIN Jie XU Zhiqian WANG Jinhui MING Jianchuan GUO Qiqian LI Liuhe. Property of multilayer TiCN films formed by ion-beam-assisted-deposition[J]. Nuclear techniques, 2007, (12): 1019-1022. DOI：

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