磁过滤真空弧沉积中过滤管道的第二阳极作用研究

王广甫; 张荟星

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磁过滤真空弧沉积中过滤管道的第二阳极作用研究

更新时间：2021-03-12

- 磁过滤真空弧沉积中过滤管道的第二阳极作用研究
- The second anode action of the filtering duct and the equivalent circuit of the filtered cathode vacuum arc discharge
- 核技术 2001年第10期
- 作者机构：
  
  1. 北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学低能核物理研究所,北京,100875
  2. 北京师范大学分析测试中心,北京100875,北京,100875
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家“8 6 3”计划（86 3 - 715 - 0 0 8- 0 0 40 ）()
- DOI：
  中图分类号： TN105
- 纸质出版日期：2001-10-01
- 稿件说明：
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[1]王广甫,张荟星.磁过滤真空弧沉积中过滤管道的第二阳极作用研究[J].核技术,2001(10):842-847.

WANG Guangfu 1, 2 ZHANG Huixing 1 1. The second anode action of the filtering duct and the equivalent circuit of the filtered cathode vacuum arc discharge[J]. Nuclear techniques, 2001, (10): 842-847.
[1]王广甫,张荟星.磁过滤真空弧沉积中过滤管道的第二阳极作用研究[J].核技术,2001(10):842-847. DOI：

WANG Guangfu 1, 2 ZHANG Huixing 1 1. The second anode action of the filtering duct and the equivalent circuit of the filtered cathode vacuum arc discharge[J]. Nuclear techniques, 2001, (10): 842-847. DOI：

摘要

利用一台磁过滤真空弧沉积装置

初步研究了磁过滤管道对系统弧放电的影响。实验证明

磁过滤管道在阴极真空弧沉积中不仅起到消除大颗粒的作用

还作为阴极真空弧放电的第二阳极对弧放电产生影响。给出了磁过滤阴极真空弧放电的等效电路

并用此电路对磁过滤阴极真空弧放电中的部分实验现象进行了解释

Abstract

It is justified first time by experiments that the magnetic filtering duct influences the cathode vacuum arc discharge by working as second anode of the MEVVA plasma source. An equivalent circuit for the filtered cathode vacuum arc discharge was derived

and used to explain and analyses the arc discharge phenomena with two anodes.

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