新型大量程LTP控制系统及数据处理系统

杜国浩; 肖体乔; 夏绍建; 温利; 徐洪杰

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新型大量程LTP控制系统及数据处理系统

更新时间：2021-03-12

- 新型大量程LTP控制系统及数据处理系统
- Control system and data processing system of the novel LTP
- 核技术 2004年第7期
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院上海应用物理研究所
  2. 中国科学院上海应用物理研究所,上海,201800
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  中国科学院仪器研制和改造项目()
- DOI：
  中图分类号： TP273.5
- 纸质出版日期：2004-07-01
- 稿件说明：
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[1]杜国浩,肖体乔,夏绍建,温利,徐洪杰.新型大量程LTP控制系统及数据处理系统[J].核技术,2004(07):511-514.

DU Guohao XIAO Tiqiao XIAShaojian WEN Li XUHongjie. Control system and data processing system of the novel LTP[J]. Nuclear techniques, 2004, (7): 511-514.
[1]杜国浩,肖体乔,夏绍建,温利,徐洪杰.新型大量程LTP控制系统及数据处理系统[J].核技术,2004(07):511-514. DOI：

DU Guohao XIAO Tiqiao XIAShaojian WEN Li XUHongjie. Control system and data processing system of the novel LTP[J]. Nuclear techniques, 2004, (7): 511-514. DOI：

摘要

讨论了最近研制成功的新型大量程长程面形仪（LTP）中精密线性导轨扫描、定向移动以及高精度任意步长等运动的控制;采用面阵CCD获取准直激光束通过位相板形成的衍射图像、经采集卡数字化

由计算机完成数据处理。数据处理中实现了MATLAB与VC++程序间的通信

采用质心法分离测量光斑以及参考光斑

并利用MATLAB中神经网络算法求取位相板衍射图像中暗线位置

达到了设计要求的精度。

Abstract

The control of linear guided stage and image capturing system in the novel Long Trace Profiler (LTP) are discussed. Diffraction pattern capturing and data processing are completed through Area Scan CCD camera

frame grabber and computer. Communication between the Matlab and VC++ is established. The measuring pattern and reference pattern are separated by the law of centroidal method. Higher precision of the light spot determination is obtained using Neural Networks Algorithms.

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