SOI材料和器件及其应用的新进展

林成鲁; 张正选; 刘卫丽

doi:null

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

SOI材料和器件及其应用的新进展

更新时间：2021-03-12

- SOI材料和器件及其应用的新进展
- New progress in SOI material and devices and their applications
- 核技术 2003年第9期
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
  2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海,200050
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TN304
- 纸质出版日期：2003-09-01
- 稿件说明：
移动端阅览
[1]林成鲁,张正选,刘卫丽.SOI材料和器件及其应用的新进展[J].核技术,2003(09):658-663.

LIN Chenglu ZHANG Zhengxuan LIU Weili. New progress in SOI material and devices and their applications[J]. Nuclear techniques, 2003, (9): 658-663.
[1]林成鲁,张正选,刘卫丽.SOI材料和器件及其应用的新进展[J].核技术,2003(09):658-663. DOI：

LIN Chenglu ZHANG Zhengxuan LIU Weili. New progress in SOI material and devices and their applications[J]. Nuclear techniques, 2003, (9): 658-663. DOI：

摘要

综述了绝缘层上的硅（SOI）材料的新结构包括不同绝缘埋层和不同半导体材料结构的最新进展

介绍了SOI器的新结构和SOI器件在抗辐射电子学方面的应用

报道了国内在SOI技术的研发和产业化的最新动态。

Abstract

New progress relating to new structure of SOI including differential insulator layer and top semiconductor layer is described. The new structure devices of SOI and the application of SOI devices in irradiation area are reviewed. The new progress on R&D of SOI technology in our country is reported in detail. Meanwhile

the new progress of industrialized SOI material is introduced.

关键词

Keywords

references

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

辐射去除饮用水中的内分泌干扰物PAEs

辐射基因治疗黑色素瘤的实验研究

丙烯腈辐射聚合机理的NMR研究

相关机构

南京大学环境学院污染控制与资源化研究国家重点实验室

江苏省农业科学院原子能研究所

复旦大学环境科学系

中国科学院近代物理研究所

兰州大学生命科学学院

AI问答

地址：上海市嘉罗公路2019号邮编：201800
联系电话：021-39194977 Email：LHB@sinap.ac.cn
技术支持由北京北大方正电子有限公司提供沪ICP备05005479号-1 京公网安备11010802024621
本系统建议在Chrome、 IE9+ 以上版本浏览器阅读本站内容，360浏览器请切换至极速模式
Cookies帮助我们提供服务并提供个性化体验。使用本网站，即表示您同意我们使用Cookies
总访问量：881077 今日访问量：604

⁰