等离子氧化面垒探测器的研制

申勇; 蒋锦江; 严美琼; 王铤鉴

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

等离子氧化面垒探测器的研制

更新时间：2022-09-13

- 等离子氧化面垒探测器的研制
- Producing of surface barrier detectors by using plasma oxidizing
- 核技术 1987年10卷第10期
- 作者机构：
  
  四川大学
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  中国科学院科学基金资助的课题
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1986-05-09，
  
  纸质出版日期：1987-10
- 稿件说明：
移动端阅览
申勇, 蒋锦江, 严美琼, 等. 等离子氧化面垒探测器的研制[J]. 核技术, 1987,10(10):18-20,58.

Yong Shen, Jinjiang Jiang, Meiqiong Yan, et al. Producing of surface barrier detectors by using plasma oxidizing[J]. Nuclear techniques, 1987, 10(10): 18-20,58.
申勇, 蒋锦江, 严美琼, 等. 等离子氧化面垒探测器的研制[J]. 核技术, 1987,10(10):18-20,58. DOI：

Yong Shen, Jinjiang Jiang, Meiqiong Yan, et al. Producing of surface barrier detectors by using plasma oxidizing[J]. Nuclear techniques, 1987, 10(10): 18-20,58. DOI：

摘要

本文报道了一种制备面垒探测器的新工艺——等离子氧化工艺。初步的实验结果表明，探测器制作周期短、性能稳定、制作重复率高。灵敏面积直径为20mm的探测器（电阻率1000

cm）在室温下对

粒子的能量分辨率为0.7%（

241

Am（

））。

Abstract

new method of producing surface barrier detector by using plasma oxidizing is reported. The preliminary results show that the producing time is short and the property is stable. The detector resolution (

20mm) for

241

Am (a) is 0.7% at room temperature.

关键词

Keywords

references

G．伯托利尼和 A. 科什著，金芜和谭泽祖译，半导体探测器，原子能出版社， 1975年，第132页。

蒋锦江等，核仪器与方法， 1 , 71 （ 1981 ）。

张金州等，核技术， 4 , 44 （ 1979 ）。

G. A. Armantrout , IEEE Truns . Nucl. Scl ., NS . 13 , 3 , 328 （ 1966 ）.

F. Cappellani et al ., Nucl. Instr. Meth ., 47 , 121 （ 1967 ）.

A. K. Ray and A. Reisman , Solid-state Sci. Tech ., 128 , 11 , 2460 （ 1981 ）.

L. Bardos et al ., J . Phys. D: Appl. Phys ., 8 ， L195 （ 1975 ）.

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

基于三角函数的核信号类高斯成形算法研究

基于展开-合成技术平顶尖峰成形算法研究

卷积型类高斯成形滤波算法研究及应用

NICA-MPD中电磁量能器模块性能的Geant4模拟研究

基于余弦函数的核脉冲信号数字成形方法研究