离子注入微型半导体探测器的研制

邵明珠

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离子注入微型半导体探测器的研制

研究简报 | 更新时间：2022-09-13

- 离子注入微型半导体探测器的研制
- The development of a miniature silicon detector by ion implantation technique
- 核技术 1986年09卷第7期
- 作者机构：
  
  重庆交通学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1984-12-20，
  
  纸质出版日期：1986-07
- 稿件说明：
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邵明珠. 离子注入微型半导体探测器的研制[J]. 核技术, 1986,09(7):30-32,61.

Mingzhu Shao. The development of a miniature silicon detector by ion implantation technique[J]. Nuclear techniques, 1986, 09(7): 30-32,61.
邵明珠. 离子注入微型半导体探测器的研制[J]. 核技术, 1986,09(7):30-32,61. DOI：

Mingzhu Shao. The development of a miniature silicon detector by ion implantation technique[J]. Nuclear techniques, 1986, 09(7): 30-32,61. DOI：

摘要

国际上最早使用的微型探测器是盖革-缪勒计数器，并用它首次对活体内的肿瘤进行了测试。六十年代以来，它逐步为半导体探测器所代替。七十年代以来，微型半导体探测器已广泛地用于血流动力学、肺功能研究以及食管、胃和眼睛等体内和体表器官的诊断。我们也曾用半导体硅探测器对甲状腺节结进行过测试，效果良好

[1]

。

Abstract

A miniature semiconductor detector was developed by ion implantation technique

and its temperature effect

space resolution

noise and count ratio were tested. The results show that the detector can be used for medical purposes.

关键词

Keywords

references

朱德平等，核仪器与方法 , 4 , 79 （ 1982 ）.

S. Takayanagi et al . , IEEE Trans. Nucl. Sci. , NS-19 , 3 （ 1972 ）.

S. Caine et al . , Nucl. Instr. Meth. , 150 , 1 , 83 （ 1978 ）.

S. Caine et al . , IEEE Trans. Nucl. Sci. , NS-25 , 1 , 649 （ 1981 ）.

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