As离子束混合形成硅化钨的卢瑟福背散射分析

王忠烈; 丁训良; 钱亚宏

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As离子束混合形成硅化钨的卢瑟福背散射分析

更新时间：2022-09-13

- As离子束混合形成硅化钨的卢瑟福背散射分析
- An investigation of the tungsten silicide formed by As ion beam mixing with Rutherford backscattering
- 核技术 1986年09卷第5期
- 作者机构：
  
  北京师范大学低能核物理研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1985-03-08，
  
  纸质出版日期：1986-05
- 稿件说明：
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王忠烈, 丁训良, 钱亚宏. As离子束混合形成硅化钨的卢瑟福背散射分析[J]. 核技术, 1986,09(5):13-18,12,58,59.

Zhonglie Wang, Xunliang Ding, Yahong Qian. An investigation of the tungsten silicide formed by As ion beam mixing with Rutherford backscattering[J]. Nuclear techniques, 1986, 09(5): 13-18,12,58,59.
王忠烈, 丁训良, 钱亚宏. As离子束混合形成硅化钨的卢瑟福背散射分析[J]. 核技术, 1986,09(5):13-18,12,58,59. DOI：

Zhonglie Wang, Xunliang Ding, Yahong Qian. An investigation of the tungsten silicide formed by As ion beam mixing with Rutherford backscattering[J]. Nuclear techniques, 1986, 09(5): 13-18,12,58,59. DOI：

摘要

本工作用卢瑟福背散射研究了离子束混合方法形成硅化钨的条件。通过对热烧结和离子束混合法的比较，结合X射线衍射分析相结构的结果，指出离子束混合法可降低形成二硅化钨所需的退火温度。观察到氧杂质对形成条件的影响，简单讨论了离子束混合形成硅化物的机理。

Abstract

The conditions of forming tungsten silicide with As ion beam mixing have been studied by means of Rutherford backscattering. The comparison between sintering and ion beam mixing has been performed. The phases have been also identified by X-ray diffraction. The results demonstrated that the refractory metal silicide may be formed at a reduced reaction temperature using ion beam mixing technique. The effect of oxygen impurity on silicide formation has been observed. Finally

the mechanism on the formation of the silicide by ion beam mixing is simply discussed.

关键词

Keywords

references

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