穿透散射法测定氮化钽薄膜的原子比

张达明; 吴俊恒; 王玟珉; 胡序胜

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穿透散射法测定氮化钽薄膜的原子比

研究简报 | 更新时间：2022-09-13

- 穿透散射法测定氮化钽薄膜的原子比
- Atomic ratio determination of tantalum nitride foil by transmissive scattering
- 核技术 1985年08卷第7期
- 作者机构：
  
  中国科学院上海原子核研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1984-05-11，
  
  纸质出版日期：1985
- 稿件说明：
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张达明, 吴俊恒, 王玟珉, 等. 穿透散射法测定氮化钽薄膜的原子比[J]. 核技术, 1985,08(7):25-26,61.

Daming Zhang, Junheng Wu, Wenmin Wang, et al. Atomic ratio determination of tantalum nitride foil by transmissive scattering[J]. Nuclear techniques, 1985, 08(7): 25-26,61.
张达明, 吴俊恒, 王玟珉, 等. 穿透散射法测定氮化钽薄膜的原子比[J]. 核技术, 1985,08(7):25-26,61. DOI：

Daming Zhang, Junheng Wu, Wenmin Wang, et al. Atomic ratio determination of tantalum nitride foil by transmissive scattering[J]. Nuclear techniques, 1985, 08(7): 25-26,61. DOI：

摘要

高精度、高稳定性氮化钽薄膜电阻器，是先在二极阴极溅射钽的同时，向真空室内充入适当量的氮气，进行反应溅射而获得氮化钽膜，再经过热处理和阻值调整后而制得的。实践表明，严格控制制作工艺过程中的氮气分压，使之生成具有一定氮－钽原子比值的薄膜，是制备优质氮化钽薄膜电阻器的关键之一

[1]

。

Abstract

The atomic ratio of tantalum nitride foil has been measured by means of transmissive scattering. The atomic ratio in a thin foil sample can be determined accurately due to the fact that the peaks corresponding to different components can be separated easily.

关键词

Keywords

references

西安交大无线电元件教研室，西安交大«科学技术报告»， 78～078号， 1978 年，第 3 页。

J. W. Mayer et al ., Ion beam handbook for material analysis , Academic Press , New York , 1977 , p. 55 .

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