用弹性反冲法分析薄膜中氢含量

钱景华; 张钰蓉; 吴小凤; 王维龙; 张阿根; 张龙兴; 神承复

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用弹性反冲法分析薄膜中氢含量

更新时间：2022-09-13

- 用弹性反冲法分析薄膜中氢含量
- Determination of the hydrogen-atoms in a thin film by ERDA
- 核技术 1983年06卷第5期
- 作者机构：
  
  复旦大学
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1982-11-18，
  
  纸质出版日期：1983-10
- 稿件说明：
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钱景华, 张钰蓉, 吴小凤, 等. 用弹性反冲法分析薄膜中氢含量[J]. 核技术, 1983,06(5):21-23,75.

Jinghua Qian, Yurong Zhang, Xiaofeng Wu, et al. Determination of the hydrogen-atoms in a thin film by ERDA[J]. Nuclear techniques, 1983, 06(5): 21-23,75.
钱景华, 张钰蓉, 吴小凤, 等. 用弹性反冲法分析薄膜中氢含量[J]. 核技术, 1983,06(5):21-23,75. DOI：

Jinghua Qian, Yurong Zhang, Xiaofeng Wu, et al. Determination of the hydrogen-atoms in a thin film by ERDA[J]. Nuclear techniques, 1983, 06(5): 21-23,75. DOI：

摘要

弹性反冲探测分析法（

ERDA

）是分析微量氢元素的一种新颖方法。本文介绍用该法分析薄膜中氢含量的方法、原理和初步测量结果，对

VYNS

膜的测量结果和

PIXE

法间接分析结果在±10%误差范围内相符。此方法适用于分析厚度为1~10μm的薄样品，灵敏度约为5×10

at./cm

。

Abstract

Elastic recoil detection analysis (ERDA) has been developed for determining the amount of hydrogen-atoms in a film. The principle and some preliminary results of the method are given in this paper. The hydrogen content in a VYNS thin film was measured and found to be in agreement with the PIXE analysis within ±10%. This method is suitable for thin films of thickness of 1~10μm with sensitivity being about 5 × 10

at./cm

关键词

Keywords

references

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