用计算机处理NaI（T1）晶体闪烁体和多道分析器获得的γ射线谱，在五十年代末就已经发展了一些解谱程序。那些程序大多以峰的叠加原理为基础，方程多、计算复杂。半导体探测器出现后，把能量分辨率提高了一个量级。在很多情况下，活化分析样品不需化学分离就能把许多成分同时分开。适应分析多峰谱的处理方法，在六十年代相继产生。经七十年代的发展，已相当完善，并得到了广泛的应用。