用活化分析法测定元素同位素丰度的工作最早见于五十年代，迄今为止有关文献已报告了21种同位素的丰度和丰度比的测定方法。早期工作仅限于用反应堆照射样品，测量活化产物的β和γ射线，主要用于分析陨石和地质样品中某些元素同位素丰度的差异，以及分析铀的同位素成份和测定岩石的绝对年龄。从七十年代起，一些研究单位使用质子束、氘束、光子束等手段照射样品，不仅测量活化产物的各种射线，还测量核反应过程中发射的瞬发粒子，主要分析氧、氮、碳、锂、钙等轻核元素。其中一些方法在实际应用中，尤其是在稳定性同位素示踪技术的应用中发挥了一定的作用。