离子注入机的接受相图分析

蔡仁康

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

离子注入机的接受相图分析

更新时间：2022-08-16

- 离子注入机的接受相图分析
- Acceptance diagram analysis of the ion implanter
- 核技术 1990年13卷第12期
- 作者机构：
  
  上海科技大学
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1989-12-04，
  
  纸质出版日期：1990-12-01
- 稿件说明：
移动端阅览
蔡仁康. 离子注入机的接受相图分析[J]. 核技术, 1990,13(12):740-748.

Renkang Cai. Acceptance diagram analysis of the ion implanter[J]. Nuclear techniques, 1990, 13(12): 740-748.
蔡仁康. 离子注入机的接受相图分析[J]. 核技术, 1990,13(12):740-748. DOI：

Renkang Cai. Acceptance diagram analysis of the ion implanter[J]. Nuclear techniques, 1990, 13(12): 740-748. DOI：

摘要

束流光学系统中各个元件的接受相图变换到同一地点，得到整个系统的接受相图。束流光学设计的任务就是使束流的发射相图与系统的接受相图相匹配。从它们的匹配情况可以估计束流的传输效率。本文以LC-2B型离子注入机为例说明了这个方法的应用。

Abstract

The acceptance diagrams of the components in a beam optics system are transformed to a certain point to form the acceptance diagram of the whole system. The task of beam optics calculation is to match the beam emittance diagram with the acceptance diagram of the system. The beam transportation efficiency can then be estimated. The ion implanter of LC-2B type is used as an example to illustrate the application of this technique.

关键词

Keywords

references

W. Z. Zhang et al . , Nucl. Instr, Meth . , A240 （ 1985 ）, 229 .

W. Z. Zhang et al . , Nucl. Instr. Meth . , A260 （ 1987 ）, 313 .

张维忠，接受相图方法的新应用，中国粒子加速器学会第三次粒子动力学和带电粒子光学学术讨论会会议文集， 1987 年。

叶铭汉等，静电加速器，科学出版社，北京， 1965年版，第404页。

K. L. Brown and S. K. Howry , TRANSPORT/360 SLAC-91 ( 1979 ）.

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

基于CYCIAE-230超导回旋加速器的质子治疗能量选择系统的束流光学设计

单粒子微束辐照装置的束流光学计算

加速器联机装置运行状况

氢氦离子注入机的研制

武汉大学加速器-透射电镜联机系统

相关机构

中国原子能科学研究院

复旦大学核科学与技术系现代物理研究所离子束应用物理教育部重点实验室

复旦大学放射医学研究所

武汉大学物理科学与技术学院加速器实验室

Texas Center for Superconductivity University of Houston

AI问答

地址：上海市嘉罗公路2019号邮编：201800
联系电话：021-39194977 Email：LHB@sinap.ac.cn
技术支持由北京北大方正电子有限公司提供沪ICP备05005479号-1 京公网安备11010802024621
本系统建议在Chrome、 IE9+ 以上版本浏览器阅读本站内容，360浏览器请切换至极速模式
Cookies帮助我们提供服务并提供个性化体验。使用本网站，即表示您同意我们使用Cookies
总访问量：880718 今日访问量：245

⁰