高功率脉冲电子束溅射法制备钴-钛多层膜

江兴流; 王天民; 高金城; 韩丽君; 李秉清

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高功率脉冲电子束溅射法制备钴-钛多层膜

研究简报 | 更新时间：2022-08-16

- 高功率脉冲电子束溅射法制备钴-钛多层膜
- Preparation of Co/Ti multilayer films by sputter deposition with intense pulsed e-beams
- 核技术 1990年13卷第8期
- 作者机构：
  
  兰州大学
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助课题
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1988-10-17，
  
  纸质出版日期：1990-08
- 稿件说明：
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江兴流, 王天民, 高金城, 等. 高功率脉冲电子束溅射法制备钴-钛多层膜[J]. 核技术, 1990,13(8):474-477.

Xingliu Jiang, Tianmin Wang, Jincheng Gao, et al. Preparation of Co/Ti multilayer films by sputter deposition with intense pulsed e-beams[J]. Nuclear techniques, 1990, 13(8): 474-477.
江兴流, 王天民, 高金城, 等. 高功率脉冲电子束溅射法制备钴-钛多层膜[J]. 核技术, 1990,13(8):474-477. DOI：

Xingliu Jiang, Tianmin Wang, Jincheng Gao, et al. Preparation of Co/Ti multilayer films by sputter deposition with intense pulsed e-beams[J]. Nuclear techniques, 1990, 13(8): 474-477. DOI：

摘要

本文介绍一种利用高功率脉冲电子束溅射法制备金属多层膜的新方法。强脉冲电子束轰击金属靶将产生瞬态高温等离子体，从这种等离子体中飞出的金属离子沉积在附近的衬底上，从而制得Co/Tl系和其他多种金属多层膜。本文报道了对多层膜进行的TEM和AES研究的结果。

Abstract

A new approach of preparation for thin multilayer films is described. A powerful pulsed e-beam is used to irradiate a metal target

leading to the formation of transient hot plasma. The energetic metal ions ejected from such plasma are deposited on the surface of the near-by substrate. The multilayer films of Co/Ti system and other metals have been prepared. The TEM and AES investigations for such films are reported.

关键词

Keywords

references

E. Spiller , Appl. Phys. Letters , 20 （ 1972 ）, 365 .

孟广耀，化学气相淀积与无机新材料，科学出版社，北京， 1984 年。

A. G. Bagmut and A. A. Sokol , Phys. Chem. Mech. Surface , 4 （ 1987 ）, 3318 .

韩丽君和江兴流，科学通报， 34 （ 1989 ）， 196 .

Y. Shimotori et al ., J. Appl. Phys. , 63 （ 1988 ）, 968 .

江兴流等，物理学报， 32 （ 1983 ）， 1344 .

M. J. Berger and S. M. Seltzer , NASA SP-3012 , 1964 .

江兴流等，科学通报， 32 （ 1987 ）， 25 .

X. L. Jiang et al ., Formation of alloy microspheres under implantation by using intense pulseion beams, ISAIBA′87 , Jinan, China , B-P-44 .

X. L. Jiang and S. C. Jiang , IEEE. NS-32 （ 1985 ）, 2492 .

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