元素深度分布的简化模拟方法

郑志豪; 汪永强

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元素深度分布的简化模拟方法

更新时间：2022-08-16

- 元素深度分布的简化模拟方法
- A simple simulation method for profiling elements
- 核技术 1990年13卷第7期
- 作者机构：
  
  兰州大学原子核研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1988-09-19，
  
  纸质出版日期：1990-07-01
- 稿件说明：
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郑志豪, 汪永强. 元素深度分布的简化模拟方法[J]. 核技术, 1990,13(7):409-413.

Zhihao Zheng, Yongqiang Wang. A simple simulation method for profiling elements[J]. Nuclear techniques, 1990, 13(7): 409-413.
郑志豪, 汪永强. 元素深度分布的简化模拟方法[J]. 核技术, 1990,13(7):409-413. DOI：

Zhihao Zheng, Yongqiang Wang. A simple simulation method for profiling elements[J]. Nuclear techniques, 1990, 13(7): 409-413. DOI：

摘要

利用共振核反应进行元素深度分布测量时，从实验产额分布得到浓度分布要经过十分复杂的多重退卷积运算。本文引入“高斯分辨函数”大大简化了运算过程。利用三种离子注入硅中的浓度分布数据，检验了该近似方法的合理性，得到比较满意的结果。

Abstract

When the depth distribution is measured by using nuclear resonant reaction

it is necessary to carry out complex deconvolutions in order to get concentration distribution from experimental data. In this paper

a "Gaussian resolution function" is put forward to simplify the calculations. The distributions of three elements implanted in silicon are dealt with

and the result is satisfactory.

关键词

Keywords

references

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