离子注入Q薄膜的电导性及XPS研究

王培录; 周平; 刘仲阳; 姜景云; 冯克鲁

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

离子注入Q薄膜的电导性及XPS研究

更新时间：2022-08-16

- 离子注入Q薄膜的电导性及XPS研究
- Electrical conductivity and XPS spectra of the ion implanted Q thin films
- 核技术 1990年13卷第6期
- 作者机构：
  
  1.四川大学原子核科学技术研究所
  2.四川大学
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1988-08-31，
  
  纸质出版日期：1990-06-01
- 稿件说明：
移动端阅览
王培录, 周平, 刘仲阳, 等. 离子注入Q薄膜的电导性及XPS研究[J]. 核技术, 1990,13(6):350-354.

Peilu Wang, Ping Zhou, Zhongyang Liu, et al. Electrical conductivity and XPS spectra of the ion implanted Q thin films[J]. Nuclear techniques, 1990, 13(6): 350-354.
王培录, 周平, 刘仲阳, 等. 离子注入Q薄膜的电导性及XPS研究[J]. 核技术, 1990,13(6):350-354. DOI：

Peilu Wang, Ping Zhou, Zhongyang Liu, et al. Electrical conductivity and XPS spectra of the ion implanted Q thin films[J]. Nuclear techniques, 1990, 13(6): 350-354. DOI：

摘要

离子注入Q薄膜，使其电导率增加了8个数量级，饱和电导率达2×10

-3

（

Ω

-1

），且在环境条件下十分稳定。XPS分析表明，薄膜注入后表层注入区碳含量显著增加，氧含量明显下降，结构发生变化。研究表明，这是电导变化的主要原因。

Abstract

Ion implantation causes an increase of electrical conductivity of the Q thin films by 8 orders of magnitude and the saturated value is about 2×10

-3

(

Ω

cm)

-1

. The conductivity is very stable under exposure to ambient conditions. XPS analysis has shown a notable increase of carbon concentration an obvious decrease of oxygen concentration and a change of the pristine structure in the implahted zone. The results indicate that structure change is a main reason for the increase of electrical conductivity.

关键词

Keywords

references

J. F. Rabolt et al . , J . Chem. Soc . Chem. Commun , （ 1980 ）, 347 .

R. R. Chance et al . , J. Chem. Soc . Chem. Commun , （ 1980 ）, 348 .

H. Mazurek et al . , J. Polymer Science : Polymer Physics Edition , 21 （ 1983 ）, 537 .

T. Venkatesan , Nucl . Instr . Meth. in Physics Research , B7/8 （ 1985 ）, 461 .

K. F. Jr. Schoch and J. Bartko , Polymer , 28 （ 1987 ）, 556 .

Hsln-Kuel Hu et al . , J. Physr Chem , 86 （ 1982 ）, 17 : 3365 .

M. L. Kaplan et al . , J. Appl. Phys . , 55 （ 1984 ）, 3 : 732 .

T. Venkatesan et al . , J. Appl. Phys. , 56 （ 1984 ）, 10 : 2778 .

G. E. Wnek et al . , Mat. Res. Soc. Symp. Proc . , 27 （ 1984 ）, 435 .

B. Wasserman et al . , Mat. Res. Soc. Symp. Proc . , 27 （ 1984 ）, 423 .

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

内辐射带质子和电子被动屏蔽

基于催化聚合的同步辐射X射线成像标签

Ag离子注入ZnO薄膜对其发光性质的影响

高能氧离子注入LN晶体光波导的色心形成

Pb离子辐照注碳a-SiO₂薄膜的光致发光性能

相关机构

上海微小卫星工程中心中国科学院微小卫星创新研究院

中国科学院上海应用物理研究所物理生物学研究室中国科学院微观界面物理与探测重点实验室上海同步辐射光源生物成像中心嘉定园区

天津大学理学院

天津市低维功能材料物理与制备技术重点实验室

湖北科技学院核技术与化学生物学院

AI问答

地址：上海市嘉罗公路2019号邮编：201800
联系电话：021-39194977 Email：LHB@sinap.ac.cn
技术支持由北京北大方正电子有限公司提供沪ICP备05005479号-1 京公网安备11010802024621
本系统建议在Chrome、 IE9+ 以上版本浏览器阅读本站内容，360浏览器请切换至极速模式
Cookies帮助我们提供服务并提供个性化体验。使用本网站，即表示您同意我们使用Cookies
总访问量：880718 今日访问量：245

⁰