非晶硅中氟的浓度分布

钱景华; 邵其鋆; 张钰蓉; 吴小凤; 张阿根; 张龙兴

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

非晶硅中氟的浓度分布

研究论文 | 更新时间：2022-08-16

- 非晶硅中氟的浓度分布
- Concentration depth profiling of fluorine in amorphous-silicon
- 核技术 1990年13卷第2期
- 作者机构：
  
  复旦大学
- 作者简介：
  
  *上海教育学院
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1988-04-13，
  
  纸质出版日期：1990-02-01
- 稿件说明：
移动端阅览
钱景华, 邵其鋆, 张钰蓉, 等. 非晶硅中氟的浓度分布[J]. 核技术, 1990,13(2):74-80.

Jinghua Qian, Qiyun Shao, Yurong Zhang, et al. Concentration depth profiling of fluorine in amorphous-silicon[J]. Nuclear techniques, 1990, 13(2): 74-80.
钱景华, 邵其鋆, 张钰蓉, 等. 非晶硅中氟的浓度分布[J]. 核技术, 1990,13(2):74-80. DOI：

Jinghua Qian, Qiyun Shao, Yurong Zhang, et al. Concentration depth profiling of fluorine in amorphous-silicon[J]. Nuclear techniques, 1990, 13(2): 74-80. DOI：

摘要

本文用尖锐共振核反应法测定氟在非晶硅中的深度分布。为检验退卷积方法的适用范围，对能级宽度在1keV以下和1keV以上两种情况，对同一样品进行了测量。结果表明：在1keV以下退卷积方法仍可适用。

Abstract

The concentration depth profile of fluorine has been measured with narrow resonances of nuclear reactions. In order to find the applicable range of the deconvolution method' two kinds of level-widtn with

1 keV or

1keV have been measured for the same sample. The results indicate that the method is still applicable to the level-width below 1 keV.

关键词

Keywords

references

Hideki Matsumue et al . , J. Phys. Soc. ,Japan, Suppl. A , 49 （ 1980 ）, 1253 .

Dai Guo-Cai et al . , J. Phys. Soc. ,Japan, Suppl. A , 49 （ 1980 ）, 1257 .

钱景华等，电子与自动化，（ 1984 ）, 5 : 5 .

B. Maurel and G. Amsel , Nucl. Instr. Meth. , 197 （ 1982 ）, 1 .

E. SJφNTOFT , Nucl. Instr. Meth. , 163 （ 1979 ）, 519 .

J. F. Gibbons , Projected range statistics 2nd edition Hutchinson & Ross, Inc. , Stroudsbug, Pennsy-Ivania 1975 , p. 149 .

F. Bodart et al . , Nucl. Instr. Meth. , 197 （ 1982 ） 59 .

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

熔盐堆中石墨吸附氚的理论研究

循环中子活化分析茶叶中的氟含量

用¹⁴N（d，α₁）¹²C核反应研究注入氮在纯铁和GCr15钢中的深度分布*

渗氮钢表面氮含量的核反应分析研究

用飞行时间法测量氚的深度分布

相关机构

南华大学数理学院

中国科学院上海应用物理研究所嘉定园区

深圳大学生命科学学院

深圳大学核技术研究所

中国科学院近代物理研究所

AI问答

地址：上海市嘉罗公路2019号邮编：201800
联系电话：021-39194977 Email：LHB@sinap.ac.cn
技术支持由北京北大方正电子有限公司提供沪ICP备05005479号-1 京公网安备11010802024621
本系统建议在Chrome、 IE9+ 以上版本浏览器阅读本站内容，360浏览器请切换至极速模式
Cookies帮助我们提供服务并提供个性化体验。使用本网站，即表示您同意我们使用Cookies
总访问量：880718 今日访问量：245

⁰