石英玻璃的MeV离子注入效应

石成儒; Tombrello T. A.

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石英玻璃的MeV离子注入效应

更新时间：2022-08-16

- 石英玻璃的MeV离子注入效应
- MeV ION-IMPLANTATION EFFECTS IN VITREOUS FUSED SILICA
- Nuclear Techniques 1989年12卷第10期
- 作者机构：
  
  1.兰州大学原子核研究所
  2.加州理工学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  Supported in part by the American National Science Foundation(DMR86-15641)
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1988-08-09，
  
  纸质出版日期：1989-10
- 稿件说明：
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石成儒, Tombrello T. A.. 石英玻璃的MeV离子注入效应[J]. Nuclear Techniques, 1989,12(10):587-593.

Chengru Shi, T.A. Tombrello. MeV ION-IMPLANTATION EFFECTS IN VITREOUS FUSED SILICA[J]. 核技术, 1989, 12(10): 587-593.
石成儒, Tombrello T. A.. 石英玻璃的MeV离子注入效应[J]. Nuclear Techniques, 1989,12(10):587-593. DOI：

Chengru Shi, T.A. Tombrello. MeV ION-IMPLANTATION EFFECTS IN VITREOUS FUSED SILICA[J]. 核技术, 1989, 12(10): 587-593. DOI：

摘要

用电子顺磁共振和光吸收法研究了1—17MeV

Cl和

F离子注入石英玻璃产生的缺陷的特性

并与2MeV质子注入和0.633MeV γ射线辐照的结果作了比较. 观察到MeV重离子轰击下石英表面发生分裂和密度变化现象. 对于17MeV

离子

注入通量约为1×10

Clcm

-2

下

体收缩率约为0.36%.

Abstract

The nature of defects in vitreous fused silica induced by implanting with 1—17 MeV

C1 and

F ions have been investigated and compared with the results obtained after 2 MeV protons or 0.633 MeV γ-rays irradiation using ESR and optical absorption techniques. The surface cracking caused by MeV heavy ion-bombardment was found. No cracks were seen for 2 MeV protons. The contraction in MeV heavy ion implanted vitreous fused silica was observed. The volume change is about 0.36%　at an ion fluence（17MeV

）of 1×10

15 35

C1 cm

-2

关键词

Keywords

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