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820离子源在600kV离子注入机上的应用
更新时间：2022-08-16
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    • 820离子源在600kV离子注入机上的应用

    • Application of the 820 ion source on the 600 kV ion implanter

    • 核技术   1989年12卷第4期

    • 收稿日期：1987-10-05，

      纸质出版日期：1989-04

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  • 关安民, 孙义林, 耿海阳, 等. 820离子源在600kV离子注入机上的应用[J]. 核技术, 1989,12(4):229-232. DOI：

    Anmin Guan, Yilin Sun, Haiyang Geng, et al. Application of the 820 ion source on the 600 kV ion implanter[J]. Nuclear techniques, 1989, 12(4): 229-232. DOI：

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相关作者

许永建
张黎
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蒋才超
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相关机构

中国科学技术大学
中国科学院等离子体物理研究所
中国工程物理研究院 流体物理研究所
中国原子能科学研究院
武汉大学物理科学与技术学院加速器实验室
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