27keVAr<sup>+</sup>离子轰击Fe-W合金的溅射原子角分布研究

王震遐; 郑里平; 陶振兰; 潘冀生

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27keVAr⁺离子轰击Fe-W合金的溅射原子角分布研究

更新时间：2022-08-16

- 27keVAr⁺离子轰击Fe-W合金的溅射原子角分布研究
- The angular distributions of sputtered atoms for Fe-W alloy with 27 keV Ar⁺ ion bombardment
- 核技术 1989年12卷第2期
- 作者机构：
  
  中国科学院上海原子核研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1988-01-14，
  
  纸质出版日期：1989-02
- 稿件说明：
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王震遐, 郑里平, 陶振兰, 等. 27keVAr⁺离子轰击Fe-W合金的溅射原子角分布研究[J]. 核技术, 1989,12(2):79-84.

Zhenxia Wang, Liping Zheng, Zhenlan Tao, et al. The angular distributions of sputtered atoms for Fe-W alloy with 27 keV Ar⁺ ion bombardment[J]. Nuclear techniques, 1989, 12(2): 79-84.
王震遐, 郑里平, 陶振兰, 等. 27keVAr⁺离子轰击Fe-W合金的溅射原子角分布研究[J]. 核技术, 1989,12(2):79-84. DOI：

Zhenxia Wang, Liping Zheng, Zhenlan Tao, et al. The angular distributions of sputtered atoms for Fe-W alloy with 27 keV Ar⁺ ion bombardment[J]. Nuclear techniques, 1989, 12(2): 79-84. DOI：

摘要

本文报道在27keV Ar

离子轰击Fe-W（30wt.%）合金情况下，溅射Fe和W原子的角分布实验结果。用卢瑟福背散射（RBS）谱仪分析了不同发射角

处溅射沉积在衬底上的Fe-W薄膜的成分。结果表明，角分布形状均为over-cosine型，且W原子对Fe原子的比值与发射角

有关。与我们以前关于Cu-Au合金和Ti-Ni合金的结果比较，暗示择优溅射程度可能与合金成分的质量比值有关。简单的模型分析发现，靶表面形貌是引起溅射原子角分布变化的重要因素。

Abstract

Angular distributions of sputtered Fe and W atoms from Fe-W alloy (25 wt%) under 27 keV Ar ion bombardment have been measured by Rutherford backscattering and a collector

on which the sputtered atoms with different ejection angle

from the alloy surface deposit. The results indicate that angular distributions of both Fe atoms and W atoms are over-cosine shape and that the sputtered composition ratio N

is linked with the ejection angle

θ.

Comparing this work with our previous work on Cu-Au and Ti-Ni alloy systems implies that the mechanism of the preferential sputtering teems to associate with the mass ratio of components. A simple model has been used and it is found that the target surface topography may be an important factor to cause the variation of angular distribution of sputtered atoms.

关键词

Keywords

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The angular distributions of sputtered atoms for Fe-W alloy with 27 keV Ar⁺ ion bombardment