27keV Ar<sup>+</sup>斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布

王震遐; 陶振兰; 郑里平; 曹德新; 邹志宜; 周祖尧; 周伟

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27keV Ar⁺斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布

更新时间：2022-08-16

- 27keV Ar⁺斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布
- The experimental sputtering angular distribution of Cu-Au alloy with 27 keV oblique incident Ar⁺ ion beam
- 核技术 1988年11卷第4期
- 作者机构：
  
  1.中国科学院上海原子核研究所
  2.中国科学院上海冶金研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1987-04-20，
  
  纸质出版日期：1988-04
- 稿件说明：
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王震遐, 陶振兰, 郑里平, 等. 27keV Ar⁺斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布[J]. 核技术, 1988,11(4):13-16.

Zhenxia Wang, Zhenlan Tao, Liping Zheng, et al. The experimental sputtering angular distribution of Cu-Au alloy with 27 keV oblique incident Ar⁺ ion beam[J]. Nuclear techniques, 1988, 11(4): 13-16.
王震遐, 陶振兰, 郑里平, 等. 27keV Ar⁺斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布[J]. 核技术, 1988,11(4):13-16. DOI：

Zhenxia Wang, Zhenlan Tao, Liping Zheng, et al. The experimental sputtering angular distribution of Cu-Au alloy with 27 keV oblique incident Ar⁺ ion beam[J]. Nuclear techniques, 1988, 11(4): 13-16. DOI：

摘要

用27keV Ar

分别在垂直和倾斜入射情况下，轰击了Cu-Au（30wt%）合金样品，测量了Cu和Au原子的溅射角分布。角分布是用卢瑟福背散射（RBS）技术分析Al捕获膜上的Cu-Au沉积成分而定量得到的。结果表明：（1）在Ar

倾斜（

＝40°）入射时，Cu原子择优发射，且程度比垂直入射（

＝0°）时增强；（2）倾斜入射时，Cu原子的角分布显示出在接近于样品表面法线方向的发射角范围内（

45°），发射机率比垂直入射时减小。

Abstract

The angular distributions of sputtered Cu and Au atoms have been measured under normal and oblique incidence bombardment with 27 keV Ar

for Cu-Au (30 wt%) alloy. Sputtering material on Al collector has been analysed by RBS technique.

The results indicate that copper atoms are ejected preferentially under oblique incidence bombardment (

=40°) and the preferential ratio for oblique incidence is higher than that for normal incidence (

=0°). From the angular distributions of sputtered copper atoms the ejection probability in the ejected angle region between 0° and 45° for oblique incidence is found to be lower than that for normal incidence.

关键词

Keywords

references

G. K. Wehner et al . , J. Appl. Phys. , 50 ( 1979 ), 3677 .

H. H. Andersen et al . , Surf. Sci. , 123 ( 1983 ), 39 .

Hee Jae Kang et al . , Surf. Sci. , 127 ( 1983 ), L179 .

王震遐等，核技术， 10 （ 1987 ）， 1 ： 4 。

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