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离子注入用高低温变温靶室
更新时间:2022-08-16
    • 离子注入用高低温变温靶室

    • A target chamber for ion implantation at variable temperatures

    • 核技术   1988年11卷第2期
    • 收稿日期:1986-09-15,

      纸质出版日期:1988-02

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  • 刘家瑞, 周俊思, 李玉璞, 等. 离子注入用高低温变温靶室[J]. 核技术, 1988,11(2):41-42,44,63. DOI:

    Jiarui Liu, Junsi Zhou, Yupu Li, et al. A target chamber for ion implantation at variable temperatures[J]. Nuclear techniques, 1988, 11(2): 41-42,44,63. DOI:

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