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硅功率器件生产中控制少子寿命的电子辐照工艺
更新时间:2022-08-16
    • 硅功率器件生产中控制少子寿命的电子辐照工艺

    • Electron irradiation technology for controlling the life-time of minority in silicon power devices production

    • 核技术   1987年10卷第11期
    • 纸质出版日期:1987-11

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  • 兰李桥, 钱思敏, 刘晓光, 等. 硅功率器件生产中控制少子寿命的电子辐照工艺[J]. 核技术, 1987,10(11):42-45. DOI:

    liqiao Lan, Simin Qian, Xiaoguang Liu, et al. Electron irradiation technology for controlling the life-time of minority in silicon power devices production[J]. Nuclear techniques, 1987, 10(11): 42-45. DOI:

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北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室北京师范大学核科学与技术学院
天津电源研究所 乌鲁木齐 830011 中国科学院研究生院
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