液态金属离子源特性测量

周凤生; 华明达; 彭建华

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液态金属离子源特性测量

更新时间：2022-08-16

- 液态金属离子源特性测量
- Characteristics of a liquid metal ion source
- 核技术 1987年10卷第1期
- 作者机构：
  
  北京师范大学低能核物理研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版日期：1987-01
- 稿件说明：
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周凤生, 华明达, 彭建华. 液态金属离子源特性测量[J]. 核技术, 1987,10(1):55-58,F3.

Fengsheng Zhou, Mingda Hua, Jianhua Peng. Characteristics of a liquid metal ion source[J]. Nuclear techniques, 1987, 10(1): 55-58,F3.
周凤生, 华明达, 彭建华. 液态金属离子源特性测量[J]. 核技术, 1987,10(1):55-58,F3. DOI：

Fengsheng Zhou, Mingda Hua, Jianhua Peng. Characteristics of a liquid metal ion source[J]. Nuclear techniques, 1987, 10(1): 55-58,F3. DOI：

摘要

有关液态金属离子源的研究，国内已有报道

[1-3]

。我们也开展了这方面的工作。图1是镓液态金属离子源的结构示意图。要获得稳定的离子发射，关键是在钨针尖上充分浸润镓液。钨针的电镜照片如图2所示。由图2可以估算针尖的曲率半径在2—3µm左右。针尖的清洗用电解清洗较为简便，效果也很好。挂镓时，针尖的加热可用电子轰击的方法，镓液的温度控制在700℃左右。温度过高，镓的蒸发明显增加；温度过低，对钨的浸润不好。各电极与电源连接的极性如图1所示。源的初聚采用不对称单透镜。荧光屏中间有φ5mm的小孔，它除可看束斑外还兼有抑止来自法拉第筒上打出的二次电子的作用。各电源输出的最大电压是：

=10kV;

=3kV;

=10kV;

=300V;

=0—10V（4A）。

Abstract

The structure and the electrical parameters including I—V

current—grid voltage

intensity of angular current

energy spread

beam noise and the characteristics of focus beam gun of a gallium liquid metal ion source have been described. It is evident that the emit ting current must be limited under 30 µA

if the micro-focus beam is going to be obtained.

关键词

Keywords

references

王克礼等，微细加工技术， 1 , 17 ( 1985 )。

朱一心等，微细加工技术， 2 , 1 ( 1985 )。

姜祥祺等，真空科学与技术 , 5 , 6 , 19 ( 1985 )。

P. D. Prewett , Nucl. Instr. Meth. , B6 , 135 , ( 1985 ).

G. L. R Mair and A. Von Engel , J. Appl. Phys. , 50 , 9 , 5592 ( 1979 ).

电子工业部十二所，液态金属离子源鉴定会调试报告， 1985 年。

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