GaAs中子嬗变掺杂的初步研究

徐稼迟; 张德宏; 徐小琳; 王家英; 孟祥提

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

GaAs中子嬗变掺杂的初步研究

更新时间：2022-08-16

- GaAs中子嬗变掺杂的初步研究
- Preliminary research on doping of GaAs by neutron transmutation
- 核技术 1986年09卷第3期
- 作者机构：
  
  1.南京固体器件研究所
  2.清华大学核能技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1984-06-12，
  
  纸质出版日期：1986-03
- 稿件说明：
移动端阅览
徐稼迟, 张德宏, 徐小琳, 等. GaAs中子嬗变掺杂的初步研究[J]. 核技术, 1986,09(3):25-26,10,57.

Jiachi Xu, Dehong Zhang, Xiaolin Xu, et al. Preliminary research on doping of GaAs by neutron transmutation[J]. Nuclear techniques, 1986, 09(3): 25-26,10,57.
徐稼迟, 张德宏, 徐小琳, 等. GaAs中子嬗变掺杂的初步研究[J]. 核技术, 1986,09(3):25-26,10,57. DOI：

Jiachi Xu, Dehong Zhang, Xiaolin Xu, et al. Preliminary research on doping of GaAs by neutron transmutation[J]. Nuclear techniques, 1986, 09(3): 25-26,10,57. DOI：

摘要

硅的中子嬗变掺杂（简称NTD）法已经得到了广泛应用，在制备大功率整流器、可控硅、硅靶摄像管、核探测器和集成电路等方面被公认是一种好方法

［1］

。中子辐照硅的优点是掺杂十分均匀，浓度偏差可在±5%之内；掺杂精度高，能够准确地达到所要求的浓度。近年来，Ⅲ-V族化合物半导体的中子嬗变掺杂亦有报道。1971年Miriashvili等人

[2]

首先报道了GaAs的中子嬗变掺杂。在这之后，一些作者进一步研究了热中子辐照GaAs的原理、特点和它的应用

[3-5］

。1982年在美国马里兰举行的第四届国际NTD会议上也报道了这方面的内容。

Abstract

The principle

technology and characteristic of the neutron transmutation doping of GaAs are presented in this paper. The preliminary experimental result is given.

关键词

Keywords

references

徐稼迟，半导体技术， 5 ， 40 ( 1981 ).

Sh. M. Mirianshvili and D. I. Nanobashvili , Sov. Phys. Semicond. , 4 , 1612 ( 1971 ).

J. H. M. Stoelinga et al . , J. Phys. Chem. Solids , 39 , 873 ( 1978 ).

J. E. Mueller , J. Appl. Phys. , 51 , 3178 ( 1980 ).

J. Garrido et al . , Phys. Stat. Sol. , A , 65 , 103 ( 1981 ).

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

小型模块化氯盐快堆焚烧超铀核素物理特性研究

大型氯盐快堆中钍铀及铀钚循环分析

铅铋堆嬗变燃料初步选型与分析

La_2-xM_xCuO₄（M=Sr,Ba）体系的正电子湮没研究

长寿命放射性废料的嬗变处理

相关机构

中国科学院大学

中国科学院上海应用物理研究所

中国科学院先进核能创新研究院

中国科学院中子输运理论与辐射安全重点实验室中国科学院核能安全技术研究所

河南师范大学物理与信息工程学院

AI问答

地址：上海市嘉罗公路2019号邮编：201800
联系电话：021-39194977 Email：LHB@sinap.ac.cn
技术支持由北京北大方正电子有限公司提供沪ICP备05005479号-1 京公网安备11010802024621
本系统建议在Chrome、 IE9+ 以上版本浏览器阅读本站内容，360浏览器请切换至极速模式
Cookies帮助我们提供服务并提供个性化体验。使用本网站，即表示您同意我们使用Cookies
总访问量：880523 今日访问量：50

⁰