1983年在美国亚里桑那州州立大学召开了第六届国际离子束分析会议。这次会议的侧重方向是低能离子散射。近年来，由于超高真空技术、高速计算机、飞行时间方法、离子源等技术的发展和应用，散射截面、射程、阻止本领等各种基本参数的精确化，促进了低能离子散射技术的发展，使它成为表面结构分析中的重要手段。必须指出，上述多方面技术的进步所产生的影响，不仅仅局限于低能离子散射，而是遍及离子束分析的整个领域。