活化法测量溅射Au原子的各向异性

陶振兰; 郑里平; 曹德新; 张阿虎

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活化法测量溅射Au原子的各向异性

更新时间：2022-08-16

- 活化法测量溅射Au原子的各向异性
- The measurement of anisotropic factor for sputtered Au atoms by means of fast neutron activation
- 核技术 1987年10卷第5期
- 作者机构：
  
  中国科学院上海原子核研究所
- 作者简介：
  
  *上海半导体器件研究所
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1985-05-14，
  
  纸质出版日期：1987-05
- 稿件说明：
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陶振兰, 郑里平, 曹德新, 等. 活化法测量溅射Au原子的各向异性[J]. 核技术, 1987,10(5):34-36,62.

Zhenlan Tao, Liping Zheng, Dexin Cao, et al. The measurement of anisotropic factor for sputtered Au atoms by means of fast neutron activation[J]. Nuclear techniques, 1987, 10(5): 34-36,62.
陶振兰, 郑里平, 曹德新, 等. 活化法测量溅射Au原子的各向异性[J]. 核技术, 1987,10(5):34-36,62. DOI：

Zhenlan Tao, Liping Zheng, Dexin Cao, et al. The measurement of anisotropic factor for sputtered Au atoms by means of fast neutron activation[J]. Nuclear techniques, 1987, 10(5): 34-36,62. DOI：

摘要

溅射的空间分布和溅射率的研究不仅是检验各种溅射机制的重要手段而且与许多溅射的应用问题紧密相联。如利用溅射刻绘集成电路所需的复杂图样、单晶表面加工和薄靶制备技术等。此外一些分析技术也有赖于溅射的角分布和能量分布知识。

Abstract

Using fast neutron activation analysis technique

the number of sputtered Au atoms that were deposited on the surface of carbon foil was determined. The result shows that obtained anisotropic factor A of sputtered Au atoms

i.e the ratio of sputtering yields between azimuth φ = 0 and φ=180 degree

was 1.70±0.4. The experiment result was compared with calculations of sputtering theory model.

关键词

Keywords

references

P. Sigmund , Phys. Rev. , 184 , 383 ( 1969 ).

K. Rödelsperger et al. , Z. Phyisk , 272 , 127 ( 1975 ).

Y. Yamamura , Nucl. Instr. Meth. , 194 , 515 ( 1982 ).

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