本文用

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F（

p

，α

γ

）

16

O共振核反应法测定了无定型硅中氟含量。无定形硅作为太阳能电池材料，具有成本低廉、设备简单、便于连续化和自动化生产的优点，因此受到极大重视。由于含氢的非晶硅合金（

α

-Si:H）中的氢在温度稍高（350℃）时就很易从合金中大量逸出，使太阳能电池性能变坏，因而改用Si:F合金即

α

-Si:F:H。Si:F结合能大，在600℃退火后性能无甚变化。