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1.中国科学院上海原子核所
2.上海钢研所
纸质出版日期:1982-10
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陆福海, 陈茂庆, 殷俊林. 电子束的蚀刻作用[J]. 核技术, 1982,05(5).
陆福海, 陈茂庆, 殷俊林. 电子束的蚀刻作用[J]. 核技术, 1982,05(5). DOI:
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通常,核径迹滤膜的蚀刻方法有化学法和电化学法,至今尚未看到电子束蚀刻法的报导。我们以高压透射电镜(Hitachi H-700)观察由裂变碎片制得的PET(聚酯)核滤膜(见图1)时发现,0.2MeV的电子束辐照具有明显的蚀刻作用。图2表明,随着时间的增加,不同束流时的孔数和孔尺寸皆明显增长。显然,即使采用20µA束流,孔尺寸也显得不很均匀。以后,我们将束流降为11~13µA,孔尺寸的均匀性就大为改善。由图2C可见,总的变化趋势相同,但是至3~4分时,孔尺寸不再增大,其中一部分孔的增长初速可达1.04µm/min。看来,适当调节电子束的功率参数和照射时间,实用的可能性并不是不存在的。
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