中子活化法测定硅中注磷剖面分布

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中子活化法测定硅中注磷剖面分布

更新时间：2022-08-16

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- 中子活化法测定硅中注磷剖面分布
- 暂无标题
- 核技术 1982年05卷第4期
- 作者机构：
  
  中国科学院上海冶金研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版日期：1982-08
- 稿件说明：
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孙福桃, 曹如晟, 顾琦珍. 中子活化法测定硅中注磷剖面分布[J]. 核技术, 1982,05(4):76-78.
孙福桃, 曹如晟, 顾琦珍. 中子活化法测定硅中注磷剖面分布[J]. 核技术, 1982,05(4):76-78. DOI：

DOI：

摘要

本文对不同注磷能量和不同剂量（5×10

14

~1×10

16

/cm

2

）的硅片进行了中子活化分析，测定硅中磷的剖面分布、注入剂量及其射程，方法测量下限为4×10

-10

g。

Abstract

关键词

Keywords

references

赵新安，上海冶金所科技通讯， 3 ， 37 （ 1974 ）.

J. F. Gibbons et al ., Projeteel rang stattlstics 2nd ed , Halstead Press , Strondsberg USA , 1975 .

J. P. OP. De Beek , J. Radioanal. Chem ., 1 , 431 （ 1969 ）.

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