Thickness measurements of thin layer and foil by using the forward scattering of 31.2MeV alpha particles

Wu Jun-heng; Zhang Da-ming; Wang Wen-min

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Thickness measurements of thin layer and foil by using the forward scattering of 31.2MeV alpha particles

工作简报 | 更新时间：2022-08-16

- Thickness measurements of thin layer and foil by using the forward scattering of 31.2MeV alpha particles
- 用31.2MeV α粒子的前向散射测量薄层及薄膜厚度
- Nuclear Techniques 1980年03卷第6期
- 作者机构：
  
  Shanghai Institute of Nuclear Research, Chinese Academy of Sciences
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1980-02-28，
  
  纸质出版日期：1980-12
- 稿件说明：
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Wu Jun-heng, Zhang Da-ming, Wang Wen-min. Thickness measurements of thin layer and foil by using the forward scattering of 31.2MeV alpha particles[J]. Nuclear Techniques, 1980,03(6):27-29,33.

俊恒吴, 达明张, 玟珉王. 用31.2MeV α粒子的前向散射测量薄层及薄膜厚度[J]. 核技术, 1980, 03(6): 27-29,33.
Wu Jun-heng, Zhang Da-ming, Wang Wen-min. Thickness measurements of thin layer and foil by using the forward scattering of 31.2MeV alpha particles[J]. Nuclear Techniques, 1980,03(6):27-29,33. DOI：

俊恒吴, 达明张, 玟珉王. 用31.2MeV α粒子的前向散射测量薄层及薄膜厚度[J]. 核技术, 1980, 03(6): 27-29,33. DOI：

摘要

Abstract

利用离子束进行散射分析，虽然早就有人做过，但是直到七十年代才有了真正的发展

[1]

。1973年、1975年、1977年和1979年召开的四次专业性国际会议上，已经发表过大量文章。

离子束散射分析能够区分靶核的质量数，可用作定量分析。其最重要的特点是能够给出靶核浓度随着深度分布的信息，特别适用于分析轻基体材料中的重元素杂质。并且，还具有无损、直观、可靠等优点。它的可分析深度一般是从几十埃至几微米的物质近表面区域。所以，近几年来散射分析在表面分析研究中得到迅速的发展和广泛的应用。例如，在电子材料、材料科学、核能材料研究等方面，它都有很多应用。

This paper describes a method for thickness measurements of thin layer and foil by using the forward scattering of alpha particles from the cyclotron. By analyzing the scattering spectra

a thickness of a gold layer coated on kovar substrate and thickness of a carbon foil have been determined.

关键词

Keywords

references

J. F. Ziegler et al ., New use of ion accelerators , Plenum Press , New York , 1975 , P. 75 .

P. Müller et al ., Nucl. Instr. Meth. , 149 , 239 ( 1978 ).

R. K. Jolly and H. B., Jr White , Nucl. Instr. Meth. , 97 , 299 ( 1971 ).

H. E. Gove , Phys. Rev. , 99 , 1353 ( 1955 ).

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