The determination of boron content diffused in silicon by prompt nuclear reaction analysis method

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科研成果报告 | 更新时间：2022-08-16

- The determination of boron content diffused in silicon by prompt nuclear reaction analysis method
- 用核反应分析测定硅中的扩硼量
- Nuclear Techniques 1980年03卷第2期
- 作者机构：
  
  中国科学院原子能所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1979-05-09，
  
  纸质出版日期：1980-04
- 稿件说明：
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Nuclear Reaction Group, Institute} of Atomic Energy, Academia Sinica. The determination of boron content diffused in silicon by prompt nuclear reaction analysis method[J]. Nuclear Techniques, 1980,03(2):13-17.

带电粒子核反应分析组. 用核反应分析测定硅中的扩硼量[J]. 核技术, 1980, 03(2): 13-17.
Nuclear Reaction Group, Institute} of Atomic Energy, Academia Sinica. The determination of boron content diffused in silicon by prompt nuclear reaction analysis method[J]. Nuclear Techniques, 1980,03(2):13-17. DOI：

带电粒子核反应分析组. 用核反应分析测定硅中的扩硼量[J]. 核技术, 1980, 03(2): 13-17. DOI：

利用

，

)

Be*反应测定四组不同工艺条件下高纯硅扩硼样品的硼含量及其分布。

The concentration and distribution of boron diffused in four groups of high purity silicon samples

which were manufactured under different technological conditions were determined by

B (p

)

Be* reaction.

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