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材料上加置负偏压对DC溅射生成的TiN薄膜的组分、结构和电性能的影响
更新时间：2022-09-13
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    • 材料上加置负偏压对DC溅射生成的TiN薄膜的组分、结构和电性能的影响

    • Nuclear Techniques   Vol. 06, Issue 3, (1983)

    • Published：1983-06

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  • [J]. Nuclear techniques, 1983, 06(3): 27. DOI：

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