在质子激发X射线荧光分析中，轻元素发射的X射线能量太低，不能进行分析。

负的“基本”粒子如

μ

-

、

π

-

、

K

-

等，入射到物质中时，通过放出Auger电子和X射线而减速，最后到达1

S

轨道，和物质中的原子核一起形成“基本”粒子原子。这种原子的结合能比普通原子的结合能约大

M

m

/M

e

倍（

M

m

为“基本”粒子质量，

M

e

为电子的质量）；放出特征X射线的能量比一般原子要高很多。普通碳原子的

K

a

X

射线能量为0.282keV，但（µ

-

C）原子的

K

a

X

射线能量为75.3keV，所以，可以用于轻元素分析。